100 mm 4-palcový GaN na zafírovom epi-vrstvovom plátku epitaxiálny plátok z nitridu gália

(1) Zafírový substrát na pečenie pri vysokej teplote sa najskôr zahreje na 1050 ℃ vo vodíkovej atmosfére, účelom je vyčistiť povrch substrátu;

(2) Keď teplota substrátu klesne na 510 ℃, na povrchu zafírového substrátu sa nanesie nízkoteplotná vyrovnávacia vrstva GaN/AlN s hrúbkou 30 nm;

(3) Zvýšenie teploty na 10 °C, vstrekuje sa reakčný plyn amoniak, trimetylgálium a silán, v tomto poradí sa reguluje zodpovedajúca prietoková rýchlosť, a rastie kremíkom dopovaný N-typ GaN s hrúbkou 4 um;

(4) Reakčný plyn trimetylhliník a trimetylgálium sa použil na prípravu kontinentov typu A⒑ dopovaných kremíkom s hrúbkou 0,15 um;

(5) 50nm InGaN dopovaný Zn bol pripravený vstrekovaním trimetylgália, trimetylindia, dietylzinku a amoniaku pri teplote 800 °C a riadením rôznych prietokov;

(6) Teplota sa zvýšila na 1020 °C, vstrekli sa trimetylalumínium, trimetylgallium a bis(cyklopentadienyl)horčík na prípravu 0,15 um Mg dopovaného P-typu AlGaN a 0,5 um Mg dopovaného P-typu G krvnej glukózy;

(7) Vysoko kvalitný film GaN Sibuyan typu P sa získal žíhaním v dusíkovej atmosfére pri 700 °C;

(8) Leptanie na stázovom povrchu P-typu G na odhalenie stázového povrchu N-typu G;

(9) Odparovanie kontaktných dosiek Ni/Au na povrchu p-GaNI, odparovanie kontaktných dosiek △/Al na povrchu ll-GaN na vytvorenie elektród.