2 palce, 4 palce, 6 palcov, vzorovaný zafírový substrát (PSS), na ktorom sa pestuje materiál GaN, sa môže použiť na LED osvetlenie

Stručný popis:

Vzorovaný zafírový substrát (PSS) je maska ​​na suché leptanie na zafírovom substráte, na masku je vygravírovaný vzor štandardným litografickým procesom a potom je zafír leptaný technológiou ICP leptania. Maska sa odstráni a nakoniec sa na ňu nanesie materiál GaN, takže pozdĺžna epitaxia materiálu GaN sa zmení na horizontálnu epitaxiu. Tento proces zahŕňa niekoľko krokov, ako je nanášanie fotorezistu, postupná expozícia, vyvolanie expozičného vzoru, suché leptanie ICP a čistenie.


Detaily produktu

Značky produktov

Hlavné vlastnosti

1. Štrukturálne charakteristiky:
Povrch PSS má usporiadaný kužeľovitý alebo trojuholníkový kužeľovitý vzor, ​​ktorého tvar, veľkosť a rozloženie je možné regulovať nastavením parametrov procesu leptania.
Tieto grafické štruktúry pomáhajú zmeniť dráhu šírenia svetla a znížiť celkový odraz svetla, čím sa zlepšuje účinnosť extrakcie svetla.

2. Materiálové vlastnosti:
PSS používa ako substrátový materiál vysokokvalitný zafír, ktorý sa vyznačuje vysokou tvrdosťou, vysokou tepelnou vodivosťou, dobrou chemickou stabilitou a optickou priehľadnosťou.
Vďaka týmto vlastnostiam môže PSS odolávať náročným podmienkam, ako sú vysoké teploty a tlaky, a zároveň si zachovávať vynikajúci optický výkon.

3. Optický výkon:
Zmenou viacnásobného rozptylu na rozhraní medzi GaN a zafírovým substrátom umožňuje PSS fotónom, ktoré sú úplne odrazené vo vnútri vrstvy GaN, uniknúť zo zafírového substrátu.
Táto funkcia výrazne zlepšuje účinnosť extrakcie svetla LED diódou a zvyšuje svietivosť LED diódy.

4. Charakteristiky procesu:
Výrobný proces PSS je pomerne zložitý a zahŕňa viacero krokov, ako je litografia a leptanie, a vyžaduje si vysoko presné zariadenia a riadenie procesu.
S neustálym pokrokom v technológii a znižovaním nákladov sa však výrobný proces PSS postupne optimalizuje a zlepšuje.

Hlavná výhoda

1. Zlepšenie účinnosti extrakcie svetla: PSS výrazne zlepšuje účinnosť extrakcie svetla LED diódami zmenou dráhy šírenia svetla a znížením celkového odrazu.

2. Predĺženie životnosti LED diódy: PSS môže znížiť hustotu dislokácií epitaxných materiálov GaN, čím sa znižuje neradiačná rekombinácia a spätný zvodový prúd v aktívnej oblasti a predlžuje sa životnosť LED diódy.

3. Zlepšenie jasu LED diód: Vďaka zlepšeniu účinnosti odsávania svetla a predĺženiu životnosti LED diód sa výrazne zvýšila svietivosť LED diód na zdroji napájania (PSS).

4. Zníženie výrobných nákladov: Hoci je výrobný proces PSS pomerne zložitý, môže výrazne zlepšiť svetelnú účinnosť a životnosť LED diód, čím sa do určitej miery znížia výrobné náklady a zlepší sa konkurencieschopnosť produktu.

Hlavné oblasti použitia

1. LED osvetlenie: PSS ako substrátový materiál pre LED čipy môže výrazne zlepšiť svetelnú účinnosť a životnosť LED.
V oblasti LED osvetlenia sa PSS široko používa v rôznych osvetľovacích produktoch, ako sú pouličné lampy, stolové lampy, svetlá do áut atď.

2. Polovodičové súčiastky: Okrem LED osvetlenia sa PSS môže použiť aj na výrobu iných polovodičových súčiastok, ako sú svetelné detektory, lasery atď. Tieto zariadenia majú široké uplatnenie v komunikácii, medicíne, armáde a iných oblastiach.

3. Optoelektronická integrácia: Optické vlastnosti a stabilita PSS z neho robia jeden z ideálnych materiálov v oblasti optoelektronickej integrácie. V optoelektronickej integrácii sa PSS môže použiť na výrobu optických vlnovodov, optických prepínačov a ďalších komponentov na realizáciu prenosu a spracovania optických signálov.

Technické parametre

Položka Vzorovaný zafírový substrát (2~6 palcov)
Priemer 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Hrúbka 430 ± 25 μm 650 ± 25 μm 1000 ± 25 μm
Orientácia povrchu Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi M (10-10) 0,2 ± 0,1°
Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi A (11-20) 0 ± 0,1°
Primárna orientácia bytu Rovina A (11-20) ± 1,0°
Primárna dĺžka plochého 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
R-rovina 9 hodín
Povrchová úprava predného povrchu Vzorované
Povrchová úprava zadnej strany SSP: Jemne brúsený, Ra=0,8-1,2um; DSP: Epi-leštený, Ra<0,3nm
Laserové značenie Zadná strana
TTV ≤8 μm ≤10 μm ≤20 μm
LUK ≤10 μm ≤15 μm ≤25 μm
DEFORMÁCIA ≤12 μm ≤20 μm ≤30 μm
Vylúčenie okrajov ≤2 mm
Špecifikácia vzoru Štruktúra tvaru Kupola, kužeľ, pyramída
Výška vzoru 1,6~1,8 μm
Priemer vzoru 2,75 ~ 2,85 μm
Priestor vzoru 0,1~0,3μm

Spoločnosť XKH sa zameriava na vývoj, výrobu a predaj vzorovaných zafírových substrátov (PSS) a je odhodlaná poskytovať vysokokvalitné a výkonné produkty PSS zákazníkom na celom svete. XKH má pokročilú výrobnú technológiu a profesionálny technický tím, ktorý dokáže prispôsobiť produkty PSS s rôznymi špecifikáciami a rôznymi štruktúrami vzorov podľa potrieb zákazníka. Zároveň XKH venuje pozornosť kvalite produktov a kvalite služieb a je odhodlaná poskytovať zákazníkom kompletnú škálu technickej podpory a riešení. V oblasti PSS spoločnosť XKH nahromadila bohaté skúsenosti a výhody a teší sa na spoluprácu s globálnymi partnermi s cieľom spoločne podporovať inovatívny vývoj LED osvetlenia, polovodičových zariadení a ďalších odvetví.

Podrobný diagram

Vzorovaný zafírový substrát (PSS) 6
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) 5
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) 4

  • Predchádzajúce:
  • Ďalej:

  • Napíšte sem svoju správu a pošlite nám ju