2 palce, 4 palce, 6 palcov, vzorovaný zafírový substrát (PSS), na ktorom sa pestuje materiál GaN, sa môže použiť na LED osvetlenie

Stručný popis:

Vzorovaný zafírový substrát (PSS) je maska na suché leptanie na zafírovom substráte, na masku je vygravírovaný vzor štandardným litografickým procesom a potom je zafír leptaný technológiou ICP leptania. Maska sa odstráni a nakoniec sa na ňu nanesie materiál GaN, takže sa z pozdĺžnej epitaxie materiálu GaN stane horizontálna epitaxia. Tento proces zahŕňa niekoľko krokov, ako je nanášanie fotorezistu, postupná expozícia, vyvolanie expozičného vzoru, suché leptanie ICP a čistenie.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Hlavné vlastnosti

1. Štrukturálne charakteristiky:
Povrch PSS má usporiadaný kužeľovitý alebo trojuholníkový kužeľovitý vzor, ktorého tvar, veľkosť a rozloženie je možné regulovať nastavením parametrov procesu leptania.
Tieto grafické štruktúry pomáhajú zmeniť dráhu šírenia svetla a znížiť celkový odraz svetla, čím sa zlepšuje účinnosť extrakcie svetla.

2. Materiálové vlastnosti:
PSS používa ako substrátový materiál vysokokvalitný zafír, ktorý sa vyznačuje vysokou tvrdosťou, vysokou tepelnou vodivosťou, dobrou chemickou stabilitou a optickou priehľadnosťou.
Vďaka týmto vlastnostiam PSS odoláva náročným podmienkam, ako sú vysoké teploty a tlaky, a zároveň si zachováva vynikajúci optický výkon.

3. Optický výkon:
Zmenou viacnásobného rozptylu na rozhraní medzi GaN a zafírovým substrátom umožňuje PSS fotónom, ktoré sú úplne odrazené vo vnútri vrstvy GaN, uniknúť zo zafírového substrátu.
Táto funkcia výrazne zlepšuje účinnosť extrakcie svetla LED diódou a zvyšuje svietivosť LED diódy.

4. Charakteristiky procesu:
Výrobný proces PSS je pomerne zložitý a zahŕňa viacero krokov, ako je litografia a leptanie, a vyžaduje si vysoko presné zariadenia a riadenie procesu.
S neustálym pokrokom v technológii a znižovaním nákladov sa však výrobný proces PSS postupne optimalizuje a zlepšuje.

Hlavná výhoda

1. Zlepšenie účinnosti extrakcie svetla: PSS výrazne zlepšuje účinnosť extrakcie svetla LED diód zmenou dráhy šírenia svetla a znížením celkového odrazu.

2. Predĺženie životnosti LED diódy: PSS môže znížiť hustotu dislokácií epitaxných materiálov GaN, čím sa znižuje neradiačná rekombinácia a spätný zvodový prúd v aktívnej oblasti a predlžuje sa životnosť LED diódy.

3. Zlepšenie jasu LED diód: Vďaka zlepšeniu účinnosti odsávania svetla a predĺženiu životnosti LED diód sa výrazne zvýšila svietivosť LED diód na zdroji napájania (PSS).

4. Zníženie výrobných nákladov: Hoci je výrobný proces PSS pomerne zložitý, môže výrazne zlepšiť svetelnú účinnosť a životnosť LED diód, čím sa do určitej miery znížia výrobné náklady a zlepší sa konkurencieschopnosť produktu.

Hlavné oblasti použitia

1. LED osvetlenie: PSS ako substrátový materiál pre LED čipy môže výrazne zlepšiť svetelnú účinnosť a životnosť LED.
V oblasti LED osvetlenia sa PSS široko používa v rôznych osvetľovacích produktoch, ako sú pouličné lampy, stolové lampy, svetlá do áut atď.

2. Polovodičové súčiastky: Okrem LED osvetlenia sa PSS môže použiť aj na výrobu iných polovodičových súčiastok, ako sú svetelné detektory, lasery atď. Tieto zariadenia majú široké uplatnenie v komunikácii, medicíne, armáde a iných oblastiach.

3. Optoelektronická integrácia: Optické vlastnosti a stabilita PSS z neho robia jeden z ideálnych materiálov v oblasti optoelektronickej integrácie. V optoelektronickej integrácii sa PSS môže použiť na výrobu optických vlnovodov, optických prepínačov a ďalších komponentov na realizáciu prenosu a spracovania optických signálov.

Technické parametre

Položka	Vzorovaný zafírový substrát (2~6 palcov)
Priemer	50,8 ± 0,1 mm	100,0 ± 0,2 mm	150,0 ± 0,3 mm
Hrúbka	430 ± 25 μm	650 ± 25 μm	1000 ± 25 μm
Orientácia povrchu	Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi M (10-10) 0,2 ± 0,1°
	Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi A (11-20) 0 ± 0,1°
Primárna orientácia bytu	Rovina A (11-20) ± 1,0°
Primárna dĺžka plochého	16,0 ± 1,0 mm	30,0 ± 1,0 mm	47,5 ± 2,0 mm
R-rovina	9 hodín
Povrchová úprava predného povrchu	Vzorované
Povrchová úprava zadnej strany	SSP: Jemne brúsený, Ra=0,8-1,2um; DSP: Epi-leštený, Ra<0,3nm
Laserové značenie	Zadná strana
TTV	≤8 μm	≤10 μm	≤20 μm
LUK	≤10 μm	≤15 μm	≤25 μm
DEFORMÁCIA	≤12 μm	≤20 μm	≤30 μm
Vylúčenie okrajov	≤2 mm
Špecifikácia vzoru	Štruktúra tvaru	Kupola, kužeľ, pyramída
	Výška vzoru	1,6~1,8 μm
	Priemer vzoru	2,75 ~ 2,85 μm
	Priestor vzoru	0,1~0,3μm

Spoločnosť XKH sa zameriava na vývoj, výrobu a predaj vzorovaných zafírových substrátov (PSS) a je odhodlaná poskytovať vysokokvalitné a výkonné produkty PSS zákazníkom na celom svete. XKH má pokročilú výrobnú technológiu a profesionálny technický tím, ktorý dokáže prispôsobiť produkty PSS s rôznymi špecifikáciami a rôznymi štruktúrami vzorov podľa potrieb zákazníka. Zároveň XKH venuje pozornosť kvalite produktov a kvalite služieb a je odhodlaná poskytovať zákazníkom kompletnú škálu technickej podpory a riešení. V oblasti PSS spoločnosť XKH nahromadila bohaté skúsenosti a výhody a teší sa na spoluprácu s globálnymi partnermi s cieľom spoločne podporovať inovatívny vývoj LED osvetlenia, polovodičových zariadení a ďalších odvetví.