4-palcový 6-palcový lítium-niobátový monokryštálový film LNOI doštička
Proces prípravy materiálov LNOI je rozdelený hlavne do nasledujúcich štyroch krokov
(1) Ióny He boli vstreknuté do materiálu niobátu lítia s rezom X pri určitej energii a zavedené do defektnej vrstvy v určitej hĺbke pod povrchovou vrstvou niobátu lítia;
(2) Materiál niobátu lítia s iónmi je spojený s kremíkovým substrátom vrstvou oxidu za vzniku spojovacej štruktúry;
(3) Spojovacia štruktúra bola žíhaná, aby sa defekty spôsobené implantáciou iónov He vyvinuli a agregovali za vzniku trhlín. Nakoniec bol niobičnan lítny oddelený pozdĺž vrstvy defektov za vzniku zvyškových plátkov niobičnanu lítneho a doštičiek LNOI.
Aplikácie a výhody LNOI doštičky
1 – Piezoelektrické filmy z niobátu lítia (LNOI) majú vysoký piezoelektrický koeficient a dielektrickú konštantu, vďaka čomu dokážu premieňať mechanickú energiu na elektrickú energiu alebo elektrickú energiu na mechanickú energiu. Preto sa široko používajú v oblasti senzorov, ako sú tlakové senzory, senzory zrýchlenia, senzory teploty atď. Okrem toho sa piezoelektrický film z niobátu lítia môže použiť aj v akustických zariadeniach a vibračných zariadeniach, ako je napríklad piezoelektrický keramický menič a komplexný piezoelektrický keramický filter.
2 - Stabilita piezoelektrického filmu z niobátu lítneho je tiež jednou z jeho výhod. Vďaka stabilite kryštálovej štruktúry a chemickej inertnosti môže piezoelektrický film z niobátu lítneho fungovať pri vysokých teplotách, vysokej vlhkosti, silných kyselinách, silných zásadách a inom drsnom prostredí, pričom má dobrú odolnosť proti korózii a trvácnosť.
3-Lithium-niobátová piezoelektrická fólia je nový piezoelektrický materiál s vynikajúcim výkonom a stabilitou a má široké uplatnenie. S neustálym rozvojom vedy a techniky sa lítium-niobátová piezoelektrická fólia bude používať vo viacerých mestách, čo prinesie do života ľudí viac pohodlia a inovácií.
Podrobný diagram


