4-palcový 6-palcový lítiumniobátový monokryštál LNOI plátok
Proces prípravy materiálov LNOI je rozdelený hlavne do nasledujúcich štyroch krokov
(1) Ióny He boli vstreknuté do X-rezaného materiálu niobičitanu lítneho pri určitej energii a zavedené do defektnej vrstvy v určitej hĺbke pod povrchovou vrstvou niobičnanu lítneho;
(2) Iónmi implantovaný materiál niobitanu lítneho je spojený s kremíkovým substrátom vrstvou oxidu, aby sa vytvorila väzbová štruktúra;
(3) Spojovacia štruktúra bola žíhaná, aby sa defekty spôsobené implantáciou iónov He vyvíjali a agregovali za vzniku trhlín. Nakoniec sa niobitan lítny oddelil pozdĺž defektnej vrstvy, aby sa vytvorili reziduálne plátky niobitanu lítneho a doštičky LNOI.
Aplikácie a výhody plátku LNOI
1 - Piezoelektrické filmy z niobátu lítneho (LNOI) majú vysoký piezoelektrický koeficient a dielektrickú konštantu, ktoré môžu premieňať mechanickú energiu na elektrickú energiu alebo elektrickú energiu na mechanickú energiu. Preto je široko používaný v oblasti snímačov, ako sú snímače tlaku, snímače zrýchlenia, snímače teploty atď. Okrem toho môže byť piezoelektrický film z niobátu lítneho tiež použitý v akustických zariadeniach a vibračných zariadeniach, ako je piezoelektrický keramický filter s piezoelektrickým keramickým meničom.
2-Stabilita piezoelektrického filmu z niobátu lítneho je tiež jednou z jeho výhod. Vďaka svojej stabilite kryštálovej štruktúry a chemickej inertnosti môže piezoelektrický film z niobátu lítneho pracovať pri vysokej teplote, vysokej vlhkosti, silnej kyseline, silnej zásade a inom drsnom prostredí s dobrou odolnosťou proti korózii a trvanlivosťou.
3-lítiumniobátový piezoelektrický film je nový piezoelektrický materiál s vynikajúcim výkonom a stabilitou a má široké uplatnenie. S neustálym rozvojom vedy a technológie sa bude piezoelektrický film lítium niobát aplikovať vo viacerých mestách, čo prinesie viac pohodlia a inovácií do životov ľudí.