Hrúbka kompozitného substrátu LN-na-Si s hrúbkou 6-8 palcov, materiál Si/SiC/Sapphire 0,3-50 μm
Kľúčové vlastnosti
Kompozitný substrát LN-on-Si s hrúbkou 6 až 8 palcov sa vyznačuje jedinečnými materiálovými vlastnosťami a nastaviteľnými parametrami, čo umožňuje široké využitie v polovodičovom a optoelektronickom priemysle:
1. Kompatibilita s veľkými doštičkami: Veľkosť doštičiek s rozmermi 6 až 8 palcov zaisťuje bezproblémovú integráciu s existujúcimi linkami na výrobu polovodičov (napr. procesy CMOS), čím sa znižujú výrobné náklady a umožňuje sa hromadná výroba.
2. Vysoká kryštalická kvalita: Optimalizované epitaxné alebo spojovacie techniky zabezpečujú nízku hustotu defektov v tenkej vrstve LN, vďaka čomu je ideálna pre vysokovýkonné optické modulátory, filtre povrchovej akustickej vlny (SAW) a ďalšie presné zariadenia.
3. Nastaviteľná hrúbka (0,3 – 50 μm): Ultratenké vrstvy LN (<1 μm) sú vhodné pre integrované fotonické čipy, zatiaľ čo hrubšie vrstvy (10 – 50 μm) podporujú vysokovýkonné RF zariadenia alebo piezoelektrické senzory.
4. Viacero možností substrátu: Okrem Si je možné ako základné materiály zvoliť SiC (vysoká tepelná vodivosť) alebo zafír (vysoká izolácia), aby sa splnili požiadavky vysokofrekvenčných, vysokoteplotných alebo vysokovýkonných aplikácií.
5. Tepelná a mechanická stabilita: Silikónový substrát poskytuje robustnú mechanickú oporu, minimalizuje deformáciu alebo praskanie počas spracovania a zlepšuje výťažnosť zariadenia.
Vďaka týmto vlastnostiam je kompozitný substrát LN-on-Si s hrúbkou 15 až 20 cm preferovaným materiálom pre špičkové technológie, ako sú 5G komunikácie, LiDAR a kvantová optika.
Hlavné aplikácie
Kompozitný substrát LN-on-Si s hrúbkou 6 až 8 palcov je široko používaný v high-tech odvetviach vďaka svojim výnimočným elektrooptickým, piezoelektrickým a akustickým vlastnostiam:
1. Optická komunikácia a integrovaná fotonika: Umožňuje vysokorýchlostné elektrooptické modulátory, vlnovody a fotonické integrované obvody (PIC), čím rieši požiadavky na šírku pásma dátových centier a optických sietí.
2,5G/6G RF zariadenia: Vysoký piezoelektrický koeficient LN ho robí ideálnym pre filtre povrchovej akustickej vlny (SAW) a objemovej akustickej vlny (BAW), čím sa zlepšuje spracovanie signálu v základňových staniciach 5G a mobilných zariadeniach.
3. MEMS a senzory: Piezoelektrický efekt LN-on-Si umožňuje výrobu vysoko citlivých akcelerometrov, biosenzorov a ultrazvukových meničov pre lekárske a priemyselné aplikácie.
4. Kvantové technológie: Ako nelineárny optický materiál sa tenké vrstvy LN používajú v kvantových svetelných zdrojoch (napr. previazané fotónové páry) a integrovaných kvantových čipoch.
5. Lasery a nelineárna optika: Ultratenké vrstvy LN umožňujú efektívne zariadenia na generovanie druhej harmonickej (SHG) a optické parametrické oscilácie (OPO) pre laserové spracovanie a spektroskopickú analýzu.
Štandardizovaný kompozitný substrát LN-on-Si s rozmermi 6 až 8 palcov umožňuje výrobu týchto zariadení vo veľkých továrňach na výrobu doštičiek, čo výrazne znižuje výrobné náklady.
Prispôsobenie a služby
Poskytujeme komplexnú technickú podporu a služby prispôsobenia pre kompozitné substráty LN-on-Si s hrúbkou 6 až 8 palcov, aby sme splnili rôzne potreby výskumu, vývoja a výroby:
1. Zákazková výroba: Hrúbka LN filmu (0,3–50 μm), orientácia kryštálov (X-rezanie/Y-rezanie) a materiál substrátu (Si/SiC/zafír) sa dajú prispôsobiť tak, aby sa optimalizoval výkon zariadenia.
2. Spracovanie na úrovni doštičiek: Hromadná dodávka 6-palcových a 8-palcových doštičiek vrátane back-end služieb, ako je rezanie, leštenie a povlakovanie, čím sa zabezpečí, že substráty sú pripravené na integráciu zariadenia.
3. Technické konzultácie a testovanie: Charakterizácia materiálov (napr. XRD, AFM), elektrooptické testovanie výkonu a podpora simulácie zariadení na urýchlenie validácie návrhu.
Naším poslaním je etablovať 6-palcový až 8-palcový kompozitný substrát LN-on-Si ako riešenie pre základné materiály optoelektronické a polovodičové aplikácie a ponúknuť komplexnú podporu od výskumu a vývoja až po hromadnú výrobu.
Záver
Kompozitný substrát LN-on-Si s rozmermi 6 až 8 palcov vďaka svojej veľkej veľkosti doštičky, vynikajúcej kvalite materiálu a všestrannosti je hnacou silou pokroku v optickej komunikácii, 5G RF a kvantových technológiách. Či už ide o veľkoobjemovú výrobu alebo riešenia na mieru, dodávame spoľahlivé substráty a doplnkové služby na podporu technologických inovácií.

