6-palcový kremíkový plátok typu N alebo P z kremíkového plechu CZ Si
Predstavenie oblátkovej krabice
Špecifikácie kremíkového plátku:
Rast 6-palcového kremíkového plátku: CZ, MCZ, FZ.
6 tried kremíkových doštičiek: Prime, Test, Dummy atď.
Priemer 6-palcového kremíkového plátku: 6 palcov/150 mm.
Hrúbka 6-palcového kremíkového plátku: 200 ~ 3000 μm.
6-palcový kremíkový plátok Povrchová úprava: Rezané, lapované, leptané, SSP, DSP atď.
Orientácia 6-palcového kremíkového plátku: (100) (111) (110) (531) (553) atď.
6-palcový kremíkový plátok, odrezaný uhol: až 4 stupne.
6-palcový kremíkový plátok Typ/dopant: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, vnútorný.
6-palcový kremíkový plátok. Merný odpor: CZ/MCZ: od 0,001 do 1000 ohm-cm. FZ: až do 20 kOhm-cm.
6-palcové tenké filmy kremíkových dosiek: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo atď., hrúbka povlaku do 20 000 Å/5 %.
(b) LPCVD/PECVD: oxid, nitrid, SiC atď., hrúbka povlaku až do 200 000 Å/3 %.
(c) Kremíkové epitaxné doštičky a epitaxné služby (SOS, GaN, GOI atď.).
6-palcové kremíkové doštičky Procesy: a.DSP, ultra tenké, ultra ploché atď.
b. Zmenšovanie veľkosti, spätné brúsenie, rezanie na kocky atď. c. MEMS.
Od roku 2010 sa spoločnosť Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. zaviazala poskytovať zákazníkom komplexné riešenia pre 4-palcové kremíkové doštičky, od ladiacej úrovne Dummy Wafer, testovacej úrovne Test Wafer až po produktové doštičky Prime Wafer, ako aj špeciálne doštičky, oxidové doštičky Oxide, nitridové doštičky Si3N4, hliníkom pokovované doštičky, medom pokovované kremíkové doštičky, SOI doštičky, MEMS sklo, zákazkové ultra hrubé a ultra ploché doštičky atď. s rozmermi od 50 mm do 300 mm. Môžeme poskytnúť polovodičové doštičky s jednostranným/obojstranným leštením, stenčovaním, kockovaním, MEMS a ďalšími spracovateľskými a prispôsobovacími službami.
Podrobný diagram


