6-palcový silikónový plátok typu N alebo P typu CZ Si
Zavedenie krabičky na oblátky
Špecifikácie kremíkovej doštičky:
6-palcový silikónový plátok Rast: CZ, MCZ, FZ.
6 Trieda kremíkovej doštičky: Prime, Test, Dummy atď
6 palcový silikónový plátok Priemer: 6 palcov/150 mm.
6-palcový silikónový plátok Hrúbka: 200 ~ 3000 um.
Povrchová úprava 6-palcového silikónového plátku: Ako rezané, lapované, leptané, SSP, DSP atď.
Orientácia 6-palcového kremíkového plátku: (100) (111) (110) (531) (553) atď.
6-palcový silikónový plátok Odrezanie: až 4 stupne.
6-palcový typ kremíkovej doštičky/dopant: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6-palcový silikónový plátok Odpor: CZ/MCZ: od 0,001 do 1000 ohm-cm. FZ: až 20k ohm-cm.
6-palcový kremíkový plátok Tenké filmy: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo atď., Hrúbka povlaku do 20 000 A/5 %.
(b) LPCVD / PECVD: oxid, nitrid, siC atď., Hrúbka povlaku do 200 000 A/3%.
c) Silikónové epitaxné doštičky a epitaxné služby (SOS, GaN, GOI atď.).
6-palcový kremíkový plátok Procesy: a.DSP, ultra tenký, ultra plochý atď.
b.Zmenšovanie, spätné brúsenie, krájanie atď. c. MEMS.
Od roku 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd sa zaviazala poskytovať zákazníkom komplexné 4-palcové riešenia Silicon Wafer, od doštičiek na úrovni ladenia Dummy Wafer, testovacích doštičiek Test Wafer až po doštičky na úrovni produktov Prime Wafer, ako aj špeciálne doštičky, oxidové doštičky Oxide, Nitridové doštičky Si3N4, hliníkové doštičky, meďou pokovované kremíkové doštičky, SOI doštičky, MEMS sklo, prispôsobené ultra hrubé a ultra-ploché doštičky atď., s veľkosťou v rozmedzí od 50 mm do 300 mm, a môžeme poskytnúť polovodičové doštičky s jednostrannou /obojstranné leštenie, riedenie, krájanie, MEMS a iné služby spracovania a prispôsobenia.