Vysokovýkonný koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky (vidlicové rameno) pre automatizáciu polovodičov a čistých priestorov

Vysokovýkonný koncový efektor z oxidu hlinitého (vidlicové rameno) z keramiky pre automatizáciu polovodičov a čistých priestorov. Obrázok

Stručný popis:

Koncový efektor z oxidu hlinitého, označovaný aj ako keramické vidlicové rameno alebo robotická keramická ruka, je vysoko presný manipulačný komponent určený pre automatizované systémy v polovodičových, fotovoltaických, panelových displejoch a vysoko čistých laboratórnych prostrediach. Je navrhnutý tak, aby poskytoval výnimočnú tepelnú stabilitu, mechanickú tuhosť a chemickú odolnosť, a ponúkal čistú, spoľahlivú a bezpečnú prepravu citlivých materiálov, ako sú kremíkové doštičky, sklenené substráty a elektronické mikrokomponenty.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Predstavenie produktu

Ako typ robotického koncového efektoru je tento keramický komponent konečným rozhraním medzi automatizačným systémom a obrobkom. Zohráva kľúčovú úlohu pri presnom prenose, zarovnávaní, nakladaní/vykladaní a polohovaní v čistých priestoroch a vákuovom prostredí.

keramické rameno pre pohon polovodičov G13

keramické rameno pre pohon polovodičov G10

keramické rameno pre pohon polovodičov s doštičkami G07

Prehľad materiálov – keramika z oxidu hlinitého (Al₂O₃)

Hlinitá keramika je vysoko stabilný a chemicky inertný technický keramický materiál známy svojimi vynikajúcimi mechanickými a elektrickými vlastnosťami. Vysoko čistý (≥ 99,5 %) oxid hlinitý použitý v týchto koncových efektoroch zabezpečuje:

Vysoká tvrdosť (Mohs 9)Hliník, druhý po diamante, poskytuje extrémnu odolnosť proti opotrebovaniu.
Schopnosť odolávať vysokým teplotámZachováva štrukturálnu integritu nad 1600 °C.
Chemická inertnosťOdolné voči kyselinám, zásadám, rozpúšťadlám a prostrediu plazmového leptania.
Elektrická izoláciaS vysokou dielektrickou pevnosťou a nízkou dielektrickou stratou.
Nízka tepelná rozťažnosťZaisťuje rozmerovú stabilitu v prostredí s teplotnými cyklami.
Nízka tvorba častícNevyhnutné pre kompatibilitu s čistými priestormi (trieda 10 až trieda 1000).

Vďaka týmto vlastnostiam je keramika z oxidu hlinitého ideálna pre kritické operácie v odvetviach citlivých na kontamináciu.

Funkčné aplikácie

Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky sa široko používa v high-tech priemyselných procesoch, najmä tam, kde tradičné kovové alebo plastové materiály zlyhávajú kvôli tepelnej rozťažnosti, kontaminácii alebo korózii. Medzi kľúčové oblasti použitia patria:

Prenos polovodičových doštičiek
Systémy na nakladanie a vykladanie fotolitografických materiálov
Manipulácia so skleneným substrátom v OLED a LCD radoch
Prenos kryštalických kremíkových doštičiek pri výrobe solárnych článkov
Automatizovaná optická alebo mikroelektronická kontrola
Preprava vzoriek v analytických alebo biomedicínskych laboratóriách
Systémy automatizácie vákuového prostredia

Jeho schopnosť pracovať bez zavádzania častíc alebo statického náboja ho robí nevyhnutným pre presné robotické operácie v automatizácii čistých priestorov.

Dizajnové prvky a prispôsobenie

Každý keramický koncový efektor je navrhnutý tak, aby sa hodil ku konkrétnemu robotickému ramenu alebo systému manipulácie s doštičkami. Podporujeme úplné prispôsobenie na základe:

Kompatibilita veľkostí doštičiek2", 4", 6", 8", 12" a viac
Geometria a rozstup drážokVhodné pre uchopenie hrán, oporu zadnej strany alebo vrúbkované waferové prevedenia
Sacie otvoryIntegrované vákuové otvory alebo kanály pre bezkontaktnú manipuláciu
Montážna konfiguráciaOtvory, závity, drážky prispôsobené prírube koncového nástroja vášho robota
Povrchová úpravaLeštená, lapovaná alebo jemne brúsená povrchová úprava (k dispozícii Ra < 0,2 µm)
Ochrana hránZaoblené rohy alebo skosenie, aby sa zabránilo poškodeniu doštičky

Pomocou CAD výkresov alebo 3D modelov poskytnutých zákazníkmi môžu naši inžinieri optimalizovať každé rameno vidlice z hľadiska hmotnosti, pevnosti a čistoty.

sk_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Výhody keramických koncových efektorov

Funkcia	Výhoda
Vysoká mechanická tuhosť	Zachováva rozmerovú presnosť aj pri robotickom zaťažovaní
Vynikajúci tepelný výkon	Spoľahlivo funguje v prostredí s vysokou teplotou alebo plazmou
Nulová kontaminácia kovmi	Žiadne riziko kontaminácie iónmi pri kritickom spracovaní polovodičov
Povrch s nízkym trením	Znižuje riziko poškriabania na doštičkových alebo sklenených substrátoch
Antistatický a nemagnetický	Nepriťahuje prach ani neovplyvňuje magneticky citlivé komponenty
Dlhá životnosť	Vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu v opakujúcich sa vysokorýchlostných automatizačných cykloch
Kompatibilita s ultračistým systémom	Vhodné pre čisté priestory podľa normy ISO 14644 (trieda 100 a nižšia)

V porovnaní s plastovými alebo hliníkovými ramenami poskytuje aluminová keramika dramaticky zlepšenú chemickú a fyzikálnu stabilitu s minimálnymi požiadavkami na údržbu.

Nehnuteľnosť	Kovové rameno	Plastové rameno	Keramické rameno z oxidu hlinitého
Tvrdosť	Mierne	Nízka	Veľmi vysoká (Mohsova stupnica 9)
Tepelná stabilita	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Chemická odolnosť	Mierne	Chudobný	Vynikajúce
Vhodnosť pre čisté priestory	Stredné	Nízka	Veľmi vysoká
Odolnosť proti opotrebovaniu	Stredné	Nízka	Vynikajúci
Dielektrická pevnosť	Nízka	Stredné	Vysoká
Presné obrábanie na mieru	Obmedzené	Mierne	Vysoká (možná ±0,01 mm)

Technické špecifikácie

Parameter	Hodnota
Materiál	Vysoko čistý oxid hlinitý (≥ 99,5 %)
Pracovná teplota	Do 1600 °C
Drsnosť povrchu	Ra ≤ 0,2 µm (voliteľné)
Kompatibilné veľkosti oblátok	2" až 12" alebo na mieru
Tolerancia rovinnosti	±0,01 mm (v závislosti od aplikácie)
Podpora vákuového odsávania	Voliteľné, prispôsobiteľné kanály
Možnosti montáže	Priskrutkované, prírubové, drážkované otvory

Často kladené otázky (FAQ)

Otázka 1: Dá sa koncový efektor integrovať do existujúcich robotických systémov?
A1:Áno. Podporujeme prispôsobenie na základe vášho robotického rozhrania. Môžete nám poslať CAD výkres alebo rozmery príruby pre presné prispôsobenie.

Otázka 2: Zlomia sa keramické ramená počas používania ľahko?
A2:Hoci je keramika od prírody krehká, naše návrhy využívajú optimalizovanú geometriu na minimalizáciu koncentrácie napätia. Za správnych podmienok používania poskytujú výrazne dlhšiu životnosť ako kov alebo plast.

Otázka 3: Je možné toto použiť v komorách s ultravysokým vákuom alebo plazmovým leptaním?
A3:Áno. Keramika z oxidu hlinitého neuvoľňuje plyny, je tepelne stabilná a odolná voči korózii – je ideálna pre prostredia s vysokým vákuom, reaktívnymi plynmi alebo plazmou.

Otázka 4: Ako sa tieto komponenty čistia alebo udržiavajú?
A4:Môžu sa čistiť deionizovanou vodou, alkoholom alebo čistiacimi prostriedkami vhodnými do čistých priestorov. Vďaka ich chemickej stabilite a inertnému povrchu nevyžadujú žiadnu špeciálnu údržbu.

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným high-tech podnikom v oblasti optoelektronických materiálov.