Vysoko čisté tavené kremenné doštičky pre polovodičové, fotonické a optické aplikácie 2″ 4″ 6″ 8″ 12″

Vysoko čisté tavené kremenné doštičky pre polovodičové, fotonické a optické aplikácie, obrázok 2″ 4″ 6″ 8″ 12″

Stručný popis:

Tavený kremeň— tiež známy akoTavený oxid kremičitý—je nekryštalická (amorfná) forma oxidu kremičitého (SiO₂). Na rozdiel od borosilikátu alebo iných priemyselných skiel, tavený kremeň neobsahuje žiadne prímesi ani prísady, a preto ponúka chemicky čisté zloženie SiO₂. Je známy svojou výnimočnou optickou priepustnosťou v ultrafialovom (UV) aj infračervenom (IR) spektre, čím prekonáva tradičné sklenené materiály.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Doštičky z taveného oxidu kremičitého a optického kremenného skla-2

tavený_kremenný_doštička_4_palcový_tavený_kremenný_doštička_

Prehľad kremenného skla

Kremeňové doštičky tvoria chrbticu nespočetných moderných zariadení, ktoré poháňajú dnešný digitálny svet. Od navigácie vo vašom smartfóne až po chrbticu základňových staníc 5G, kremeň nenápadne poskytuje stabilitu, čistotu a presnosť potrebnú vo vysokovýkonnej elektronike a fotonike. Či už podporuje flexibilné obvody, umožňuje MEMS senzory alebo tvorí základ pre kvantové výpočty, jedinečné vlastnosti kremeňa ho robia nevyhnutným vo všetkých odvetviach.

„Tavený oxid kremičitý“ alebo „tavený kremeň“, čo je amorfná fáza kremeňa (SiO2). Na rozdiel od borosilikátového skla, tavený oxid kremičitý neobsahuje žiadne prísady, preto existuje v čistej forme, SiO2. Tavený oxid kremičitý má v porovnaní s bežným sklom vyššiu priepustnosť v infračervenom a ultrafialovom spektre. Tavený oxid kremičitý sa vyrába tavením a opätovným stuhnutím ultračistého SiO2. Syntetický tavený oxid kremičitý sa na druhej strane vyrába z chemických prekurzorov bohatých na kremík, ako je SiCl4, ktoré sa splyňujú a potom oxidujú v atmosfére H2 + O2. Prach SiO2, ktorý sa v tomto prípade vytvorí, sa taví s oxidom kremičitým na substráte. Bloky taveného oxidu kremičitého sa narežú na doštičky, po ktorých sa doštičky nakoniec vyleštia.

Doštičky z taveného oxidu kremičitého a optického kremenného skla

Kľúčové vlastnosti a výhody kremenného skleneného plátku

Ultra vysoká čistota (≥99,99 % SiO2)
Ideálne pre ultra čisté polovodičové a fotonické procesy, kde je potrebné minimalizovať kontamináciu materiálu.
Široký tepelný prevádzkový rozsah
Zachováva štrukturálnu integritu od kryogénnych teplôt až do viac ako 1100 °C bez deformácie alebo degradácie.
Vynikajúca priepustnosť UV a IR žiarenia
Poskytuje vynikajúcu optickú čistotu od hlbokého ultrafialového (DUV) až po blízke infračervené (NIR) žiarenie, čo podporuje presné optické aplikácie.
Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
Zvyšuje rozmerovú stabilitu pri teplotných výkyvoch, čím znižuje napätie a zlepšuje spoľahlivosť procesu.
Vynikajúca chemická odolnosť
Inertný voči väčšine kyselín, zásad a rozpúšťadiel, vďaka čomu je vhodný do chemicky agresívneho prostredia.
Flexibilita povrchovej úpravy
K dispozícii s ultra hladkým, jednostranne alebo obojstranne lešteným povrchom, kompatibilným s požiadavkami fotoniky a MEMS.

Výrobný proces kremenného skleneného oblátku

Tavené kremenné doštičky sa vyrábajú sériou kontrolovaných a presných krokov:

Výber surovín
Výber vysoko čistého prírodného kremeňa alebo syntetických zdrojov SiO₂.
Tavenie a fúzia
Kremeň sa taví pri teplote ~2000 °C v elektrických peciach v kontrolovanej atmosfére, aby sa eliminovali inklúzie a bubliny.
Tvarovanie blokov
Roztavený oxid kremičitý sa ochladí do pevných blokov alebo ingotov.
Krájanie oblátok
Na rezanie ingotov na polotovary doštičiek sa používajú presné diamantové alebo drôtové píly.
Lapovanie a leštenie
Oba povrchy sú sploštené a leštené, aby spĺňali presné optické, hrúbkové a drsné špecifikácie.
Čistenie a kontrola
Doštičky sa čistia v čistých priestoroch triedy ISO 100/1000 a podrobujú sa prísnej kontrole na chyby a rozmerovú zhodu.

Vlastnosti kremenného skleneného plátku

špecifikácia	jednotka	4"	6"	8"	10"	12"
Priemer / veľkosť (alebo štvorcový)	mm	100	150	200	250	300
Tolerancia (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Hrúbka	mm	0,10 alebo viac	0,30 alebo viac	0,40 alebo viac	0,50 alebo viac	0,50 alebo viac
Primárny referenčný byt	mm	32,5	57,5	Polo-zárez	Polo-zárez	Polo-zárez
Celková hodnota (LTV) (5 mm × 5 mm)	μm	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Luk	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Osnova	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 mm × 5 mm) < 0,4 μm	%	≥95 %	≥95 %	≥95 %	≥95 %	≥95 %
Zaoblenie hrán	mm	V súlade s normou SEMI M1.2 / pozri IEC62276
Typ povrchu		Jednostranne leštené / Obojstranne leštené
Leštená strana Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Kritériá zadnej strany	μm	všeobecné 0,2-0,7 alebo prispôsobené

Kremeň vs. iné priehľadné materiály

Nehnuteľnosť	Kremeňové sklo	Borosilikátové sklo	Zafír	Štandardné sklo
Maximálna prevádzková teplota	~1100 °C	~500 °C	~2000 °C	~200 °C
UV prenos	Výborný (JGS1)	Chudobný	Dobré	Veľmi slabé
Chemická odolnosť	Vynikajúce	Mierne	Vynikajúce	Chudobný
Čistota	Extrémne vysoká	Nízka až stredná	Vysoká	Nízka
Tepelná rozťažnosť	Veľmi nízke	Mierne	Nízka	Vysoká
Cena	Stredná až vysoká	Nízka	Vysoká	Veľmi nízke

Často kladené otázky o kremennom sklenenom oblátku

Otázka 1: Aký je rozdiel medzi taveným kremeňom a taveným oxidom kremičitým?
Hoci obe sú amorfné formy SiO₂, tavený kremeň zvyčajne pochádza z prírodných kremenných zdrojov, zatiaľ čo tavený oxid kremičitý sa vyrába synteticky. Funkčne ponúkajú podobný výkon, ale tavený oxid kremičitý môže mať o niečo vyššiu čistotu a homogenitu.

Otázka 2: Môžu sa tavené kremenné doštičky používať vo vysokovákuových prostrediach?
Áno. Vďaka nízkym vlastnostiam uvoľňovania plynov a vysokej tepelnej odolnosti sú tavené kremenné doštičky vynikajúce pre vákuové systémy a letecké aplikácie.

Otázka 3: Sú tieto doštičky vhodné pre aplikácie s hlbokým UV laserom?
Rozhodne. Tavený kremeň má vysokú priepustnosť až do ~185 nm, vďaka čomu je ideálny pre DUV optiku, litografické masky a excimerové laserové systémy.

Q4: Podporujete výrobu doštičiek na mieru?
Áno. Ponúkame kompletné prispôsobenie vrátane priemeru, hrúbky, kvality povrchu, plochých plôch/zárezov a laserového tvarovania na základe vašich špecifických požiadaviek na aplikáciu.

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným podnikom v oblasti high-tech optoelektronických materiálov.

Zafírový plátok prázdny vysoko čistý surový zafírový substrát na spracovanie 5