Kompozitné substráty SiC typu N s priemerom 6 palcov, vysoko kvalitný monokryštalický a nízko kvalitný substrát
Tabuľka bežných parametrov kompozitných substrátov SiC typu N
| 项目Položky | 指标Špecifikácia | 项目Položky | 指标Špecifikácia |
| 直径Priemer | 150±0,2 mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Drsnosť prednej strany (Si-face) | Ra ≤ 0,2 nm (5 μm * 5 μm) |
| 晶型Polytyp | 4H | Odštiepenie, škrabanec, prasklina na hrane (vizuálna kontrola) | Žiadne |
| 电阻率Odpor | 0,015 – 0,025 ohmov · cm | 总厚度变化TTV | ≤3 μm |
| Hrúbka prenosovej vrstvy | ≥0,4 μm | 翘曲度Osnova | ≤35 μm |
| 空洞Prázdnota | ≤5 ks/doštička (2 mm > D > 0,5 mm) | 总厚度Hrúbka | 350±25μm |
Označenie „N-typ“ označuje typ dopovania používaného v SiC materiáloch. Vo fyzike polovodičov dopovanie zahŕňa zámerné zavádzanie nečistôt do polovodiča s cieľom zmeniť jeho elektrické vlastnosti. Dopovanie typu N zavádza prvky, ktoré poskytujú nadbytok voľných elektrónov, čím sa materiál stáva negatívnou koncentráciou nosičov náboja.
Medzi výhody kompozitných substrátov SiC typu N patria:
1. Vysokoteplotný výkon: SiC má vysokú tepelnú vodivosť a môže pracovať pri vysokých teplotách, vďaka čomu je vhodný pre vysokovýkonné a vysokofrekvenčné elektronické aplikácie.
2. Vysoké prierazné napätie: Materiály SiC majú vysoké prierazné napätie, čo im umožňuje odolávať silným elektrickým poliam bez elektrického prierazu.
3. Chemická a environmentálna odolnosť: SiC je chemicky odolný a odoláva drsným environmentálnym podmienkam, vďaka čomu je vhodný na použitie v náročných aplikáciách.
4. Znížené straty energie: V porovnaní s tradičnými materiálmi na báze kremíka umožňujú substráty SiC efektívnejšiu konverziu energie a znižujú straty energie v elektronických zariadeniach.
5. Široká zakázaná pásmová oblasť: SiC má širokú zakázanú pásmovú oblasť, čo umožňuje vývoj elektronických zariadení, ktoré môžu pracovať pri vyšších teplotách a vyšších hustotách výkonu.
Celkovo ponúkajú kompozitné substráty SiC typu N významné výhody pre vývoj vysokovýkonných elektronických zariadení, najmä v aplikáciách, kde je kritická prevádzka pri vysokých teplotách, vysoká hustota výkonu a efektívna premena energie.