SiC doštička typu P 4H/6H-P 3C-N hrúbka 6 palcov 350 μm s primárnou plochou orientáciou
Špecifikácia Kompozitné substráty SiC typu 4H/6H-P Tabuľka bežných parametrov
6 Substrát z karbidu kremíka (SiC) s priemerom v palcoch Špecifikácia
Stupeň | Nulová produkcia MPDStupeň (Z) Stupeň) | Štandardná produkciaStupeň (P) Stupeň) | Dummy Grade (D Stupeň) | ||
Priemer | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Hrúbka | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientácia doštičky | -Offos: 2,0°-4,0° smerom k [1120] ± 0,5° pre 4H/6H-P, na osi: 〈111〉± 0,5° pre 3C-N | ||||
Hustota mikrotrubiek | 0 cm-2 | ||||
Odpor | typ p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-typ 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Primárna orientácia bytu | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Primárna dĺžka plochého | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Dĺžka sekundárneho plochého povrchu | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientácia sekundárneho bytu | Silikónová strana nahor: 90° v smere hodinových ručičiek od základnej lišty ± 5,0° | ||||
Vylúčenie okrajov | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Lúč/Osnova | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Drsnosť | Poľský Ra ≤ 1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Trhliny na okrajoch vystavené vysokointenzívnemu svetlu | Žiadne | Kumulatívna dĺžka ≤ 10 mm, jednotlivá dĺžka ≤ 2 mm | |||
Šesťhranné dosky s vysokou intenzitou svetla | Kumulatívna plocha ≤0,05 % | Kumulatívna plocha ≤0,1% | |||
Polytypické oblasti osvetlené svetlom s vysokou intenzitou | Žiadne | Kumulatívna plocha ≤ 3 % | |||
Vizuálne uhlíkové inklúzie | Kumulatívna plocha ≤0,05 % | Kumulatívna plocha ≤3% | |||
Škrabance na povrchu kremíka spôsobené svetlom s vysokou intenzitou | Žiadne | Kumulatívna dĺžka ≤ 1 × priemer doštičky | |||
Okrajové čipy s vysokou intenzitou svetla | Nie je povolená šírka a hĺbka ≥0,2 mm | 5 povolených, ≤1 mm každý | |||
Kontaminácia povrchu kremíka vysokou intenzitou | Žiadne | ||||
Balenie | Kazeta s viacerými doštičkami alebo nádoba s jednou doštičkou |
Poznámky:
※ Limity pre chyby platia pre celý povrch doštičky okrem oblasti s vylúčením hrán. # Škrabance by sa mali skontrolovať na Si strane o
SiC doštička typu P, 4H/6H-P 3C-N, s rozmerom 6 palcov a hrúbkou 350 μm, zohráva kľúčovú úlohu v priemyselnej výrobe vysokovýkonnej výkonovej elektroniky. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti a vysokému prieraznému napätiu je ideálna na výrobu komponentov, ako sú výkonové spínače, diódy a tranzistory používané vo vysokoteplotných prostrediach, ako sú elektrické vozidlá, energetické siete a systémy obnoviteľnej energie. Schopnosť doštičky efektívne pracovať v náročných podmienkach zaisťuje spoľahlivý výkon v priemyselných aplikáciách vyžadujúcich vysokú hustotu výkonu a energetickú účinnosť. Okrem toho jej primárna plochá orientácia pomáha pri presnom zarovnaní počas výroby zariadení, čím zvyšuje efektivitu výroby a konzistentnosť produktu.
Medzi výhody kompozitných substrátov SiC typu N patria
- Vysoká tepelná vodivosťSiC doštičky typu P efektívne odvádzajú teplo, vďaka čomu sú ideálne pre aplikácie pri vysokých teplotách.
- Vysoké prierazné napätieSchopné odolávať vysokému napätiu, čím zaisťujú spoľahlivosť vo výkonovej elektronike a vysokonapäťových zariadeniach.
- Odolnosť voči drsnému prostrediuVynikajúca odolnosť v extrémnych podmienkach, ako sú vysoké teploty a korozívne prostredie.
- Efektívna konverzia energieDoping typu P umožňuje efektívne spracovanie energie, vďaka čomu je doštička vhodná pre systémy na premenu energie.
- Primárna orientácia bytuZaisťuje presné zarovnanie počas výroby, čím zlepšuje presnosť a konzistentnosť zariadenia.
- Tenká štruktúra (350 μm)Optimálna hrúbka doštičky podporuje integráciu do pokročilých elektronických zariadení s obmedzeným priestorom.
Celkovo ponúka doštička SiC typu P, 4H/6H-P 3C-N, množstvo výhod, vďaka ktorým je veľmi vhodná pre priemyselné a elektronické aplikácie. Jeho vysoká tepelná vodivosť a prierazné napätie umožňujú spoľahlivú prevádzku v prostredí s vysokými teplotami a vysokým napätím, zatiaľ čo jeho odolnosť voči drsným podmienkam zaisťuje dlhú životnosť. Dopovanie typu P umožňuje efektívnu konverziu energie, vďaka čomu je ideálna pre výkonovú elektroniku a energetické systémy. Okrem toho primárna plochá orientácia doštičky zaisťuje presné zarovnanie počas výrobného procesu, čím sa zvyšuje konzistentnosť výroby. S hrúbkou 350 μm je vhodná na integráciu do pokročilých, kompaktných zariadení.
Podrobný diagram

