Vzorovaný zafírový substrát PSS 2inch 4inch 6 palcov ICP suché leptanie je možné použiť pre LED čipy
Základná charakteristika
1. Charakteristiky materiálu: Substrátový materiál je jediný kryštálový zafír (al₂o₃), s vysokou tvrdosťou, vysokým tepelným odporom a chemickou stabilitou.
2. Povrchová štruktúra: Povrch sa tvorí fotolitografiou a leptaním do periodických mikro-nano štruktúr, ako sú kužele, pyramídy alebo šesťuholníkové polia.
3. Optický výkon: Celkovým odrazom svetla na rozhraní sa zníži celkový odraz svetla na rozhraní a zlepšuje sa účinnosť extrakcie svetla.
4. Tepelný výkon: Sapphire substrát má vynikajúcu tepelnú vodivosť, vhodnú pre aplikácie LED s vysokým výkonom.
5. Špecifikácie veľkosti: Bežné veľkosti sú 2 palce (50,8 mm), 4 palce (100 mm) a 6 palcov (150 mm).
Oblasti hlavných aplikácií
1. Výroba LED:
Vylepšená účinnosť extrakcie svetla: PSS znižuje stratu svetla prostredníctvom návrhu vzorovania, čo výrazne zlepšuje jas LED a svetelnú účinnosť.
Vylepšená kvalita epitaxného rastu: Vzorovaná štruktúra poskytuje lepšiu rastovú základňu pre epitaxiálne vrstvy GAN a zlepšuje výkon LED.
2. Laserová dióda (LD):
Vysoko výkonné lasery: Vysoká tepelná vodivosť a stabilita PSS sú vhodné pre vysoko výkonné laserové diódy, ktoré zlepšujú výkon a spoľahlivosť rozptylu tepla.
Nízky prahový prúd: Optimalizácia epitaxného rastu, znížte prahový prúd laserovej diódy a zlepší účinnosť.
3. Photodetektor:
Vysoká citlivosť: Vysoký prenos svetla a nízka hustota defektov PSS zlepšujú citlivosť a rýchlosť odozvy fotodetektora.
Široká spektrálna odpoveď: Vhodný na fotoelektrickú detekciu v ultrafialovom až viditeľnom rozsahu.
4. Výkonová elektronika:
Vysoký odpor odporu: vysoká izolácia a tepelná stabilita zafíru sú vhodné pre vysokorýchlostné napätia.
Efektívne rozptyľovanie tepla: Vysoká tepelná vodivosť zlepšuje rozptyl tepla výkonových zariadení a predlžuje životnosť.
5. RF zariadenia:
Vysokofrekvenčný výkon: Nízka dielektrická strata a vysoká tepelná stabilita PS sú vhodné pre vysokofrekvenčné RF zariadenia.
Nízky hluk: Vysoká rovinnosť a nízka hustota defektov znižujú hluk zariadenia a zlepšujú kvalitu signálu.
6. Biosenzory:
Detekcia vysokej citlivosti: Vysoký prenos svetla a chemická stabilita PS sú vhodné pre biosenzory s vysokou citlivosťou.
Biokompatibilita: Vďaka biologickej kompatibilite zafíru je vhodná na lekárske a biodetekcie.
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) s epitaxiálnym materiálom GAN:
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) je ideálny substrát pre epitaxiálny rast epitaxného rastu Gan (nitrid gallium). Mriežková konštanta zafíru je blízko GAN, ktorá môže znížiť nezhody mriežky a defekty v epitaxiálnom raste. Mikro-nano štruktúra povrchu PSS nielen zlepšuje účinnosť extrakcie svetla, ale tiež zlepšuje kvalitu kryštálovej epitaxnej vrstvy GAN, čím sa zlepšuje výkon a spoľahlivosť LED.
Technické parametre
Položka | Vzorovaný zafírový substrát (2 ~ 6 palcov) | ||
Priemer | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Hrúbka | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Orientácia povrchu | C-rovina (0001) mimo uhla smerom k osi M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-rovina (0001) mimo uhla smerom k osi A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Primárna orientácia | Rovina (11-20) ± 1,0 ° | ||
Primárna dĺžka | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
Rovina R | 9- | ||
Predná povrchová úprava | Vzorovaný | ||
Povrchová úprava | SSP: Fine-Ground, RA = 0,8-1,2um; DSP: epi-ležená, RA <0,3nm | ||
Laserová značka | Zadná strana | ||
TTV | ≤8 μm | ≤ 10 μm | ≤ 20 μm |
Klonovať sa | ≤ 10 μm | ≤15 μm | ≤ 25 μm |
Deformácia | ≤12 μm | ≤ 20 μm | ≤ 30 μm |
Vylúčenie okrajov | ≤2 mm | ||
Špecifikácia vzoru | Tvarová štruktúra | Kupola, kužeľ, pyramída | |
Výška vzoru | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
Priemer vzoru | 2,75 ~ 2,85 μm | ||
Vzorový priestor | 0,1 ~ 0,3 μm |
Spoločnosť XKH sa špecializuje na poskytovanie vysoko kvalitných a prispôsobených vzorovaných substrátov Sapphire (PSS) s technickou podporou a službami po predaji, aby pomohla zákazníkom dosiahnuť efektívne inovácie v oblasti LED, zobrazovania a optoelektroniky.
1. Vysoko kvalitné dodávky PSS: vzorované zafírové substráty v rôznych veľkostiach (2 ", 4", 6 "), aby vyhovovali potrebám LED, zobrazovania a optoelektronických zariadení.
2. Prispôsobený dizajn: Prispôsobte štruktúru povrchovej mikro-nano (ako je kužeľ, pyramída alebo hexagonálne pole) podľa potreby zákazníka na optimalizáciu účinnosti extrakcie svetla.
3. Technická podpora: Poskytnite návrh aplikácií PSS, optimalizáciu procesov a technické konzultácie, ktoré pomáhajú zákazníkom zlepšiť výkonnosť produktu.
4. Podpora epitaxného rastu: PSS sa zhoduje s epitaxiálnym materiálom GAN, aby sa zabezpečila vysoko kvalitný rast epitaxnej vrstvy.
5. Testovanie a certifikácia: Poskytnite správu o kontrole kvality PSS, aby ste zaistili, že výrobky spĺňajú priemyselné normy.
Podrobný diagram


