Vzorovaný zafírový substrát PSS 2 palce 4 palce 6 palcov ICP suché leptanie sa môže použiť pre LED čipy
Základná charakteristika
1. Materiálové vlastnosti: Substrátový materiál je monokryštálový zafír (Al₂O₃) s vysokou tvrdosťou, vysokou tepelnou odolnosťou a chemickou stabilitou.
2. Povrchová štruktúra: Povrch je vytvorený fotolitografiou a leptaním do periodických mikro-nano štruktúr, ako sú kužele, pyramídy alebo šesťuholníkové polia.
3. Optický výkon: Vďaka dizajnu povrchového vzoru sa znižuje celkový odraz svetla na rozhraní a zlepšuje sa účinnosť extrakcie svetla.
4. Tepelný výkon: Zafírový substrát má vynikajúcu tepelnú vodivosť, vhodný pre aplikácie s vysokovýkonnými LED diódami.
5. Špecifikácie rozmerov: Bežné rozmery sú 2 palce (50,8 mm), 4 palce (100 mm) a 6 palcov (150 mm).
Hlavné oblasti použitia
1. Výroba LED diód:
Zlepšená účinnosť extrakcie svetla: PSS znižuje straty svetla vďaka dizajnu vzorov, čím výrazne zlepšuje jas a svetelnú účinnosť LED diód.
Zlepšená kvalita epitaxného rastu: Vzorovaná štruktúra poskytuje lepšiu rastovú základňu pre epitaxné vrstvy GaN a zlepšuje výkon LED diód.
2. Laserová dióda (LD):
Vysokovýkonné lasery: Vysoká tepelná vodivosť a stabilita PSS sú vhodné pre vysokovýkonné laserové diódy, čím sa zlepšuje výkon a spoľahlivosť odvodu tepla.
Nízky prahový prúd: Optimalizácia epitaxného rastu, zníženie prahového prúdu laserovej diódy a zlepšenie účinnosti.
3. Fotodetektor:
Vysoká citlivosť: Vysoká priepustnosť svetla a nízka hustota defektov PSS zlepšujú citlivosť a rýchlosť odozvy fotodetektora.
Široká spektrálna odozva: vhodná na fotoelektrickú detekciu v ultrafialovom až viditeľnom rozsahu.
4. Výkonová elektronika:
Odolnosť voči vysokému napätiu: Vysoká izolácia a tepelná stabilita zafíru sú vhodné pre zariadenia s vysokým napätím.
Efektívny odvod tepla: Vysoká tepelná vodivosť zlepšuje odvod tepla výkonných zariadení a predlžuje ich životnosť.
5. Rádiofrekvenčné zariadenia:
Vysokofrekvenčný výkon: Nízke dielektrické straty a vysoká tepelná stabilita PSS sú vhodné pre vysokofrekvenčné RF zariadenia.
Nízky šum: Vysoká rovinnosť a nízka hustota defektov znižujú šum zariadenia a zlepšujú kvalitu signálu.
6. Biosenzory:
Detekcia s vysokou citlivosťou: Vysoká priepustnosť svetla a chemická stabilita PSS sú vhodné pre biosenzory s vysokou citlivosťou.
Biokompatibilita: Biokompatibilita zafíru ho robí vhodným pre medicínske a biodetekčné aplikácie.
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) s epitaxným materiálom GaN:
Vzorovaný zafírový substrát (PSS) je ideálnym substrátom pre epitaxný rast GaN (nitrid gália). Mriežková konštanta zafíru je blízka GaN, čo môže znížiť mriežkové nesúlady a defekty pri epitaxnom raste. Mikro-nano štruktúra povrchu PSS nielen zlepšuje účinnosť extrakcie svetla, ale tiež zlepšuje kvalitu kryštálov epitaxnej vrstvy GaN, čím sa zlepšuje výkon a spoľahlivosť LED diódy.
Technické parametre
| Položka | Vzorovaný zafírový substrát (2~6 palcov) | ||
| Priemer | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Hrúbka | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Orientácia povrchu | Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Rovina C (0001) mimo uhla smerom k osi A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primárna orientácia bytu | Rovina A (11-20) ± 1,0° | ||
| Primárna dĺžka plochého | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-rovina | 9 hodín | ||
| Povrchová úprava predného povrchu | Vzorované | ||
| Povrchová úprava zadnej strany | SSP: Jemne brúsený, Ra=0,8-1,2um; DSP: Epi-leštený, Ra<0,3nm | ||
| Laserové značenie | Zadná strana | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LUK | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| DEFORMÁCIA | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Vylúčenie okrajov | ≤2 mm | ||
| Špecifikácia vzoru | Štruktúra tvaru | Kupola, kužeľ, pyramída | |
| Výška vzoru | 1,6~1,8 μm | ||
| Priemer vzoru | 2,75 ~ 2,85 μm | ||
| Priestor vzoru | 0,1~0,3μm | ||
Spoločnosť XKH sa špecializuje na poskytovanie vysokokvalitných, prispôsobených vzorovaných zafírových substrátov (PSS) s technickou podporou a popredajným servisom, aby pomohla zákazníkom dosiahnuť efektívne inovácie v oblasti LED, displejov a optoelektroniky.
1. Vysokokvalitný zdroj PSS: Vzorované zafírové substráty v rôznych veľkostiach (2", 4", 6"), ktoré spĺňajú potreby LED, displejov a optoelektronických zariadení.
2. Prispôsobený dizajn: Prispôsobte povrchovú mikro-nano štruktúru (ako je kužeľ, pyramída alebo šesťuholníkové pole) podľa potrieb zákazníka, aby ste optimalizovali účinnosť extrakcie svetla.
3. Technická podpora: Poskytovanie návrhu aplikácií PSS, optimalizácie procesov a technických konzultácií s cieľom pomôcť zákazníkom zlepšiť výkon produktu.
4. Podpora epitaxného rastu: Na zabezpečenie rastu epitaxnej vrstvy vysokej kvality je k dispozícii PSS spárovaný s epitaxným materiálom GaN.
5. Testovanie a certifikácia: Poskytnite správu o kontrole kvality PSS, aby ste zabezpečili, že produkty spĺňajú priemyselné štandardy.
Podrobný diagram
