Prémiové zafírové zdvíhacie kolíky Monokryštálový Al₂O₃ zdvíhací kolík doštičky
Technické parametre
| Chemické zloženie | Al2O3 |
| Tvrdosť | 9Mohs |
| Optická povaha | Jednoosý |
| Index lomu | 1,762 – 1,770 |
| Dvojlom | 0,008 – 0,010 |
| Disperzia | Nízka, 0,018 |
| Lesk | Sklovec |
| Pleochroizmus | Stredný až silný |
| Priemer | 0,4 mm – 30 mm |
| Tolerancia priemeru | 0,004 mm – 0,05 mm |
| dĺžka | 2 mm – 150 mm |
| tolerancia dĺžky | 0,03 mm – 0,25 mm |
| Kvalita povrchu | 40/20 |
| Zaoblenosť povrchu | RZ0.05 |
| Vlastný tvar | oba konce ploché, jeden koniec redukovaný, oba konce redukovaný, sedlové kolíky a špeciálne tvary |
Kľúčové vlastnosti
1. Výnimočná tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: S tvrdosťou 9 podľa Mohsovej stupnice, druhou hneď po diamante, vykazujú zafírové zdvíhacie kolíky charakteristiky opotrebovania, ktoré dramaticky prekonávajú tradičné alternatívy z karbidu kremíka, keramiky oxidu hlinitého alebo kovových zliatin. Táto extrémna tvrdosť sa premieta do výrazne zníženej tvorby častíc a požiadaviek na údržbu, pričom životnosť je zvyčajne 3 až 5-krát dlhšia ako u bežných materiálov v porovnateľných aplikáciách.
2. Vynikajúca odolnosť voči vysokým teplotám: Zafírové zdvíhacie kolíky sú navrhnuté tak, aby odolali trvalej prevádzke pri teplotách presahujúcich 1000 °C bez degradácie, a zachovávajú si rozmerovú stabilitu a mechanickú pevnosť aj v najnáročnejších tepelných procesoch. Vďaka tomu sú obzvlášť cenné pre kritické aplikácie, ako je chemické nanášanie z pár (CVD), chemické nanášanie z pár na kovovo-organické zlúčeniny (MOCVD) a systémy žíhania pri vysokých teplotách, kde môže nesúlad tepelnej rozťažnosti ohroziť výťažnosť procesu.
3. Chemická inertnosť: Štruktúra monokryštálového zafíru vykazuje pozoruhodnú odolnosť voči pôsobeniu kyseliny HF, chemikálií na báze chlóru a iných agresívnych procesných plynov, ktoré sa bežne vyskytujú pri výrobe polovodičov. Táto chemická stabilita zaisťuje konzistentný výkon v plazmovom prostredí a zabraňuje tvorbe povrchových defektov, ktoré by mohli viesť ku kontaminácii doštičky.
4. Nízka kontaminácia časticami: Tieto zdvíhacie kolíky sú vyrobené z bezchybných, vysoko čistých zafírových kryštálov (typicky > 99,99 %), a vykazujú minimálne uvoľňovanie častíc aj po dlhšom používaní. Ich neporézna povrchová štruktúra a leštené povrchy spĺňajú najprísnejšie požiadavky na čisté priestory, čo priamo prispieva k zlepšeniu výťažnosti procesov pri výrobe pokročilých polovodičových uzlov.
Vysoko presné obrábanie: Vďaka pokročilým technikám brúsenia diamantmi a laserového spracovania je možné vyrábať zafírové zdvíhacie kolíky s submikrónovými toleranciami a povrchovou úpravou pod 0,05 μm Ra. Je možné navrhnúť vlastné geometrie vrátane zúžených profilov, špeciálnych konfigurácií hrotov a integrovaných zarovnávacích prvkov, ktoré riešia špecifické výzvy pri manipulácii s doštičkami v zariadeniach na výrobu novej generácie.
Primárne aplikácie
1. Výroba polovodičov: Zafírové zdvíhacie kolíky zohrávajú kľúčovú úlohu v pokročilých systémoch spracovania doštičiek, pretože poskytujú spoľahlivú oporu a presné polohovanie počas fotolitografie, leptania, nanášania a kontrolných procesov. Vďaka svojej tepelnej a chemickej stabilite sú obzvlášť cenné v nástrojoch EUV litografie a pokročilých aplikáciách balenia, kde je rozmerová stabilita v nanometrových mierkach nevyhnutná.
2. LED epitaxia (MOCVD): V epitaxných rastových systémoch z nitridu gália (GaN) a súvisiacich polovodičových epitaxných systémov poskytujú zafírové zdvíhacie kolíky stabilnú oporu doštičiek pri teplotách často presahujúcich 1000 °C. Ich charakteristiky tepelnej rozťažnosti zodpovedajúce zafírovým substrátom minimalizujú prehýbanie doštičiek a tvorbu sklzov počas epitaxného rastu.
3. Fotovoltaický priemysel: Vysokoúčinná výroba solárnych článkov využíva jedinečné vlastnosti zafíru pri vysokoteplotnej difúzii, spekaní a nanášaní tenkých vrstiev. Odolnosť kolíkov voči opotrebovaniu je obzvlášť cenná v prostredí hromadnej výroby, kde životnosť súčiastok priamo ovplyvňuje výrobné náklady.
4. Presná optika a spracovanie elektroniky: Okrem polovodičových aplikácií nachádzajú zafírové zdvíhacie kolíky uplatnenie aj pri manipulácii s citlivými optickými súčiastkami, zariadeniami MEMS a špeciálnymi substrátmi, kde je kritické spracovanie bez kontaminácie a zabránenie poškriabaniu. Vďaka svojim elektrickým izolačným vlastnostiam sú ideálne pre aplikácie zahŕňajúce zariadenia citlivé na elektrostatický náboj.
Služby spoločnosti XKH pre zafírové zdvíhacie kolíky
Spoločnosť XKH poskytuje komplexnú technickú podporu a riešenia na mieru pre zdvíhacie kolíky Sapphire:
1. Služby vývoja na mieru
· Podpora pre prispôsobenie rozmerov, geometrie a povrchovej úpravy
· Odporúčania pre výber materiálu a optimalizáciu technických parametrov
· Kolaboratívny návrh produktu a overovanie simuláciou
2. Presné výrobné možnosti
· Vysoko presné obrábanie s toleranciami kontrolovanými v rozmedzí ±1 μm
· Špeciálne úpravy vrátane zrkadlového leštenia a zrážania hrán
· Voliteľné riešenia na úpravu povrchu, ako napríklad protipriľnavé povrchy
3. Systém zabezpečenia kvality
· Prísna implementácia kontroly vstupného materiálu a procesnej kontroly
· Plnorozmerná optická kontrola a analýza morfológie povrchu
· Poskytovanie správ o testoch výkonnosti výrobkov
4. Služby dodávateľského reťazca
· Rýchle dodanie štandardných produktov
· Vyhradená správa zásob pre kľúčových zákazníkov
5. Technická podpora
· Konzultácie v oblasti aplikačných riešení
· Rýchla popredajná reakcia
Zaviazali sme sa poskytovať vysoko kvalitné produkty zo zafírových zdvíhacích kolíkov a profesionálne technické služby, aby sme splnili prísne požiadavky polovodičového, LED a iných pokročilých odvetví.
