Keramická vidlicová ramená / koncový efektor SiC – pokročilá presná manipulácia pre výrobu polovodičov

Stručný popis:

Keramické vidlicové rameno SiC, často označované ako keramický koncový efektor, je vysoko výkonný a presný manipulačný komponent špeciálne vyvinutý na prepravu, zarovnávanie a polohovanie doštičiek v high-tech odvetviach, najmä vo výrobe polovodičov a fotovoltaiky. Tento komponent, vyrobený z vysoko čistej karbidovej keramiky kremíka, kombinuje výnimočnú mechanickú pevnosť, ultranízku tepelnú rozťažnosť a vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom a korózii.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Prehľad produktu

Na rozdiel od tradičných koncových efektorov vyrobených z hliníka, nehrdzavejúcej ocele alebo dokonca kremeňa, keramické koncové efektory SiC ponúkajú bezkonkurenčný výkon vo vákuových komorách, čistých priestoroch a náročných spracovateľských prostrediach, vďaka čomu sú kľúčovou súčasťou robotov na manipuláciu s doštičkami novej generácie. S rastúcim dopytom po výrobe bez kontaminácie a prísnejšími toleranciami pri výrobe čipov sa používanie keramických koncových efektorov rýchlo stáva priemyselným štandardom.

Princíp výroby

VýrobaKeramické koncové efektory SiCzahŕňa sériu vysoko presných a vysoko čistých procesov, ktoré zabezpečujú výkon aj trvanlivosť. Zvyčajne sa používajú dva hlavné procesy:

Reakčne viazaný karbid kremíka (RB-SiC)

V tomto procese sa predliatok vyrobený z práškového karbidu kremíka a spojiva infiltruje roztaveným kremíkom pri vysokých teplotách (~1500 °C), ktorý reaguje so zvyškovým uhlíkom za vzniku hustého, tuhého kompozitu SiC-Si. Táto metóda ponúka vynikajúcu rozmerovú kontrolu a je nákladovo efektívna pre veľkovýrobu.

Beztlakový spekaný karbid kremíka (SSiC)

SSiC sa vyrába spekaním ultrajemného, vysoko čistého prášku SiC pri extrémne vysokých teplotách (> 2000 °C) bez použitia prísad alebo spojivovej fázy. Výsledkom je produkt s takmer 100 % hustotou a najvyššími mechanickými a tepelnými vlastnosťami dostupnými spomedzi materiálov SiC. Je ideálny pre ultrakritické aplikácie manipulácie s doštičkami.

Dodatočné spracovanie

Presné CNC obrábanieDosahuje vysokú rovinnosť a rovnobežnosť.
Povrchová úpravaDiamantové leštenie znižuje drsnosť povrchu na <0,02 µm.
InšpekciaNa overenie každého kusu sa používa optická interferometria, súradnicová meracia jednotka (CMM) a nedeštruktívne testovanie.

Tieto kroky zaručujú, žeKoncový efektor SiCposkytuje konzistentnú presnosť umiestnenia doštičiek, vynikajúcu rovinnosť a minimálnu tvorbu častíc.

Kľúčové vlastnosti a výhody

Funkcia	Popis
Ultra vysoká tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa > 2500 HV, odolnosť voči opotrebovaniu a odštiepeniu.
Nízka tepelná rozťažnosť	Súčiniteľ tepelnej rozťažnosti (CTE) ~4,5×10⁻⁶/K, čo umožňuje rozmerovú stabilitu pri tepelných cykloch.
Chemická inertnosť	Odolný voči HF, HCl, plazmovým plynom a iným korozívnym látkam.
Vynikajúca odolnosť voči tepelným šokom	Vhodné na rýchle ohrev/chladenie vo vákuových a pecných systémoch.
Vysoká tuhosť a pevnosť	Podopiera dlhé konzolové ramená vidlice bez priehybu.
Nízke odplyňovanie	Ideálne pre prostredia s ultravysokým vákuom (UHV).
Pripravené pre čisté priestory triedy ISO 1	Prevádzka bez častíc zaisťuje integritu doštičky.

Aplikácie

Keramická vidlicová ramená/koncový efektor SiC sa široko používajú v odvetviach, ktoré vyžadujú extrémnu presnosť, čistotu a chemickú odolnosť. Medzi kľúčové scenáre použitia patria:

Výroba polovodičov

Vkladanie/vyberanie doštičiek v systémoch nanášania (CVD, PVD), leptania (RIE, DRIE) a čistenia.
Robotická preprava doštičiek medzi FOUP, kazetami a procesnými nástrojmi.
Vysokoteplotná manipulácia počas tepelného spracovania alebo žíhania.

Výroba fotovoltaických článkov

Jemná preprava krehkých kremíkových doštičiek alebo solárnych substrátov v automatizovaných linkách.

Priemysel plochých displejov (FPD)

Premiestňovanie veľkých sklenených panelov alebo substrátov v prostredí výroby OLED/LCD.

Zložené polovodiče / MEMS

Používa sa vo výrobných linkách GaN, SiC a MEMS, kde je kontrola kontaminácie a presnosť polohovania kľúčová.

Jeho úloha koncového efektora je obzvlášť dôležitá pri zabezpečovaní bezchybnej a stabilnej manipulácie počas citlivých operácií.

Možnosti prispôsobenia

Ponúkame rozsiahle možnosti prispôsobenia, aby sme splnili rôzne požiadavky na zariadenia a procesy:

Dizajn vidliceDvojprstové, viacprstové alebo rozdelené rozloženie.
Kompatibilita veľkostí doštičiekOd 2” do 12” doštičiek.
Montážne rozhraniaKompatibilné s robotickými ramenami od výrobcu OEM.
Tolerancie hrúbky a povrchuK dispozícii je rovinnosť a zaoblenie hrán na úrovni mikrónov.
Protišmykové vlastnostiVoliteľné povrchové textúry alebo povlaky pre bezpečné uchytenie doštičky.

Každýkeramický koncový efektorje navrhnutý v spolupráci s klientmi, aby sa zabezpečilo presné uloženie s minimálnymi zmenami nástrojov.

Často kladené otázky (FAQ)

Otázka 1: V čom je SiC lepší ako kremeň pre aplikáciu v koncovom efektore?
A1:Hoci sa kremeň bežne používa pre svoju čistotu, chýba mu mechanická húževnatosť a je náchylný na lámanie pri zaťažení alebo teplotných šokoch. SiC ponúka vynikajúcu pevnosť, odolnosť voči opotrebovaniu a tepelnú stabilitu, čím výrazne znižuje riziko prestojov a poškodenia doštičiek.

Otázka 2: Je toto keramické vidlicové rameno kompatibilné so všetkými robotickými manipulátormi s doštičkami?
A2:Áno, naše keramické koncové efektory sú kompatibilné s väčšinou hlavných systémov na manipuláciu s doštičkami a je možné ich prispôsobiť vašim špecifickým robotickým modelom s presnými technickými výkresmi.

Otázka 3: Dokáže spracovať 300 mm doštičky bez deformácie?
A3:Rozhodne. Vysoká tuhosť SiC umožňuje, aby aj tenké, dlhé ramená vidlice bezpečne udržali 300 mm wafery bez prehýbania alebo vychýlenia počas pohybu.

Otázka 4: Aká je typická životnosť keramického koncového efektora SiC?
A4:Pri správnom používaní môže koncový efektor SiC vydržať 5 až 10-krát dlhšie ako tradičné kremenné alebo hliníkové modely vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči tepelnému a mechanickému namáhaniu.

Q5: Ponúkate náhradné diely alebo služby rýchleho prototypovania?
A5:Áno, podporujeme rýchlu výrobu vzoriek a ponúkame náhradné služby na základe CAD výkresov alebo reverzného inžinierstva dielov z existujúceho zariadenia.

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným podnikom v oblasti high-tech optoelektronických materiálov.