Konzolová lopatka z karbidu kremíka (konzolová lopatka SiC)

Stručný popis:

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Prehľad produktu

Konzolová lopatka z karbidu kremíka, vyrobená z vysoko výkonného reakčne viazaného karbidu kremíka (RBSiC), je kľúčovou súčasťou používanou v systémoch nakladania a manipulácie s doštičkami pre polovodičové a fotovoltaické aplikácie.
V porovnaní s tradičnými kremennými alebo grafitovými lopatkami ponúkajú konzolové lopatky SiC vynikajúcu mechanickú pevnosť, vysokú tvrdosť, nízku tepelnú rozťažnosť a vynikajúcu odolnosť proti korózii. Zachovávajú si vynikajúcu štrukturálnu stabilitu pri vysokých teplotách, čím spĺňajú prísne požiadavky na veľké rozmery doštičiek, predĺženú životnosť a ultranízku kontamináciu.

S neustálym vývojom polovodičových procesov smerom k väčším priemerom doštičiek, vyššej priepustnosti a čistejším procesným prostrediam, konzolové lopatky SiC postupne nahradili konvenčné materiály a stali sa preferovanou voľbou pre difúzne pece, LPCVD a súvisiace vysokoteplotné zariadenia.

Vlastnosti produktu

Vynikajúca stabilita pri vysokých teplotách
- Spoľahlivo funguje pri teplotách 1000 – 1300 ℃ bez deformácie.
- Maximálna prevádzková teplota do 1380 ℃.
Vysoká nosnosť
- Pevnosť v ohybe až 250–280 MPa, oveľa vyššia ako u kremenných lopatiek.
- Schopný spracovať doštičky s veľkým priemerom (300 mm a viac).
Predĺžená životnosť a nízka údržba
- Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dobre zladený s náterovými materiálmi LPCVD.
- Znižuje praskliny a odlupovanie spôsobené namáhaním, čím výrazne predlžuje cykly čistenia a údržby.
Odolnosť proti korózii a čistota
- Vynikajúca odolnosť voči kyselinám a zásadám.
- Hustá mikroštruktúra s otvorenou pórovitosťou <0,1 %, minimalizujúca tvorbu častíc a uvoľňovanie nečistôt.
Dizajn kompatibilný s automatizáciou
- Stabilná geometria prierezu s vysokou rozmerovou presnosťou.
- Bezproblémovo sa integruje s robotickými systémami na vkladanie a vykladanie doštičiek, čo umožňuje plne automatizovanú výrobu.

Fyzikálne a chemické vlastnosti

Položka	Jednotka	Dáta
Maximálna prevádzková teplota	℃	1380
Hustota	g/cm³	3,04 – 3,08
Otvorená pórovitosť	%	< 0,1
Pevnosť v ohybe	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Modul pružnosti	GPA	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Tepelná vodivosť	W/m·K	45 (1200 ℃)
Koeficient tepelnej rozťažnosti	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Tvrdosť podľa Vickersa	HV2	≥ 2100
Odolnosť voči kyselinám/zásadám	-	Vynikajúce

Štandardné dĺžky:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Vlastné rozmery sú k dispozícii na požiadanie

Aplikácie

Polovodičový priemysel
- LPCVD (nízkotlakové chemické nanášanie z pár)
- Difúzne procesy (fosfor, bór atď.)
- Tepelná oxidácia
Fotovoltaický priemysel
- Difúzia a povlakovanie polysilikónových a monokryštalických doštičiek
- Žíhanie a pasivácia pri vysokých teplotách
Ostatné oblasti
- Vysokoteplotné korozívne prostredie
- Presné systémy na manipuláciu s doštičkami vyžadujúce dlhú životnosť a nízku kontamináciu

Výhody pre zákazníkov

Znížené prevádzkové náklady– Dlhšia životnosť v porovnaní s kremennými lopatkami, minimalizácia prestojov a frekvencie výmen.
Vyšší výnos– Extrémne nízka kontaminácia zaisťuje čistotu povrchu doštičiek a znižuje mieru chybovosti.
Pripravené na budúcnosť– Kompatibilné s veľkými rozmermi doštičiek a polovodičovými procesmi novej generácie.
Zvýšená produktivita– Plne kompatibilný s robotickými automatizačnými systémami, čo podporuje veľkoobjemovú výrobu.

Často kladené otázky – Konzolová lopatka z karbidu kremíka

Otázka 1: Čo je to konzolová lopatka z karbidu kremíka?
A: Je to komponent na podporu a manipuláciu s doštičkami vyrobený z reakčne viazaného karbidu kremíka (RBSiC). Široko sa používa v difúznych peciach, LPCVD a iných vysokoteplotných polovodičových a fotovoltaických procesoch.

Otázka 2: Prečo si vybrať SiC namiesto kremenných lopatiek?
A: V porovnaní s kremennými lopatkami ponúkajú SiC lopatky:

Vyššia mechanická pevnosť a nosnosť
Lepšia tepelná stabilita pri teplotách do 1380 ℃
Oveľa dlhšia životnosť a kratšie cykly údržby
Nižšie riziko tvorby častíc a kontaminácie
Kompatibilita s väčšími rozmermi doštičiek (300 mm a viac)

Otázka 3: Aké veľkosti doštičiek dokáže konzolová lopatka SiC podporovať?
A: Štandardné lopatky sú k dispozícii pre pece s priemerom 2378 mm, 2550 mm a 2660 mm. K dispozícii sú aj prispôsobené rozmery na podporu doštičiek s priemerom do 300 mm a viac.

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným podnikom v oblasti high-tech optoelektronických materiálov.