Keramický keramický podnos kremíka Sucker Sucker Silikon Keramická trubica prívod vysokej teploty spekanie vlastné spracovanie

Kremík karbid keramický podnos kremíka Keramická trubica Sucker Sucker Keramická trubica napája

Krátky popis:

Keramický podnos z karbidu kremíka a keramické keramické trubice z karbidu sú nevyhnutnými vysoko výkonnými materiálmi vo výrobe polovodičov. Keramický podnos z karbidu kremíka sa používa hlavne pri spracovaní oblátkových a ložísk, aby sa zabezpečila stabilita procesu s vysokou presnosťou; Keramické keramické trubice kremíka sa široko používajú v skúmavkách s vysokou teplotou pece, skúmaviek difúznej pece a ďalšie scenáre, ktoré odolávajú extrémnym prostrediam a udržiavajú účinné tepelné riadenie. Obidve sú založené na karbide kremíka ako základného materiálu, ktorý sa stal kľúčovou súčasťou v polovodičovom priemysle kvôli svojim vynikajúcim fyzikálnym a chemickým vlastnostiam.

Pošlite nám e -mail

Detail produktu

Značky produktov

Hlavné vlastnosti:

1. Keramický podnos kremíkového karbidu
- Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu: Tvrdosť je blízko diamantu a dlhú dobu vydrží mechanické opotrebenie pri spracovaní doštičiek.
- Vysoká tepelná vodivosť a koeficient nízkej tepelnej expanzie: rýchly rozptyl tepla a rozmerová stabilita, vyhýbanie sa deformácii spôsobenej tepelným stresom.
- Vysoká rovinnosť a povrchová úprava: povrchová rovinnosť je až do úrovne mikrónu a zaisťuje plný kontakt medzi oblátkou a diskom, čím sa znižuje kontaminácia a poškodenie.
Chemická stabilita: silný odolnosť proti korózii, vhodný na procesy čistenia a leptania v mokrej výrobe vo výrobe polovodičov.
2. Keramická trubica z karbidu kremíka
- Odolnosť voči vysokej teplote: Môže pracovať v prostredí s vysokou teplotou nad 1600 ° C po dlhú dobu, vhodné pre polovodičový vysokoteplotný proces.
Vynikajúca odolnosť proti korózii: rezistentná na kyseliny, alkalis a rôzne chemické rozpúšťadlá, vhodné pre tvrdé procesné prostredie.
- Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu: odolávajte eróziu častíc a mechanické opotrebenie, predĺžte životnosť.
- Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej expanzie: rýchle vedenie stability tepla a rozmerov, znižovanie deformácie alebo krakovania spôsobené tepelným napätím.

Parameter produktu ：

Parameter keramického podnosového podnosu kremíkového karbidu:

(Materiálna vlastnosť)		(Jednotka)	(SSIC)
(Obsah SIC)		(Hm)%	> 99
(Priemerná veľkosť zŕn)		mikrón	4-10
(Hustota)		kg/dm3	> 3,14
(Zjavná pórovitosť)		VO1%	<0,5
(Tvrdosť Vickers)	HV 0,5	GPA	28
() Pevnosť v ohybe (tri body)	20 ° C	MPA	450
(Pevnosť v tlaku)	20 ° C	MPA	3900
(Elastický modul)	20 ° C	GPA	420
(Zlomenina)		MPA/M '%	3.5
(Tepelná vodivosť)	20 ° C	W/(m*k)	160
(Odpor)	20 ° C	OHM.CM	106-108
(Koeficient tepelnej expanzie)	A (RT ** ... 80 ° C)	K-1*10-6	4.3
(Maximálna prevádzková teplota)		otC	1700

Parameter kremíkovej karbidovej keramiky kremíka:

Predmety	Index
a-siC	99% min
Zjavná pórovitosť	16% max
Objemová hustota	2,7 g/cm3 min
Pevnosť ohýbania pri vysokej teplote	100 MPa min
Koeficient tepelnej expanzie	K -1 4,7x10 -6
Koeficient tepelnej vodivosti (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Pracovná teplota	1650 ° C

Hlavné aplikácie:

1. Keramická doska kremíka karbidu
- Rezanie a leštenie oblátok: Slúži ako ložisková plošina, aby sa zabezpečila vysoká presnosť a stabilita počas rezania a leštenia.
- Litografický proces: Oáľba je fixovaná v litografickom stroji, aby sa zabezpečilo vysoké presné umiestnenie počas expozície.
- Chemické mechanické leštenie (CMP): Pôsobí ako podporná platforma pre leštenie vankúšikov, poskytujúce rovnomerný tlak a rozloženie tepla.
2. Keramická trubica z karbidu kremíka
- Vysokoteplotná pecová trubica: Používa sa pre vysokoteplotné zariadenia, ako je difúzna peci a oxidačná pec na prepravu doštičiek na ošetrenie procesom s vysokou teplotou.
- Proces CVD/PVD: Ako ložisková trubica v reakčnej komore, odolná voči vysokým teplotám a korozívnym plynom.
- Príslušenstvo pre polovodičové vybavenie: pre výmenníkov tepla, plynové potrubia atď. Na zlepšenie efektívnosti zariadení na správu tepelného hospodárenia.
XKH ponúka celú škálu vlastných služieb pre keramické podnosy z karbidu kremíka, prísavné šálky a keramické keramické trubice kremíka. Keramické podnosy a sacie poháre kremíka, XKH je možné prispôsobiť podľa požiadaviek zákazníkov rôznych veľkostí, tvarov a drsnosti povrchu a podporovať špeciálne ošetrenie povlakom, zvýšiť odolnosť proti opotrebeniu a odolnosť proti korózii; Pre keramické trubice z karbidu kremíka môže XKH prispôsobiť celý rad vnútorného priemeru, vonkajšieho priemeru, dĺžky a komplexnej štruktúry (ako je tvarovaná trubica alebo pórovitá trubica) a poskytovať leštenie, antioxidačný náter a ďalšie procesy povrchového spracovania. XKH zaisťuje, že zákazníci môžu plne využívať výhody výkonnosti keramických výrobkov z karbidu kremíka, ktoré spĺňajú náročné požiadavky špičkových výrobných polí, ako sú polovodiče, LED a fotovoltaiky.