Keramická miska z karbidu kremíka, dodávka keramických rúrok z karbidu kremíka, vysokoteplotné spekanie, zákazkové spracovanie
Hlavné vlastnosti:
1. Keramická miska z karbidu kremíka
- Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: tvrdosť sa blíži diamantu a dlhodobo odoláva mechanickému opotrebovaniu pri spracovaní doštičiek.
- Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti: rýchly odvod tepla a rozmerová stabilita, čím sa zabráni deformácii spôsobenej tepelným namáhaním.
- Vysoká rovinnosť a povrchová úprava: Rovinnosť povrchu dosahuje až mikrónovú úroveň, čo zaisťuje úplný kontakt medzi doštičkou a diskom a znižuje kontamináciu a poškodenie.
Chemická stabilita: Silná odolnosť proti korózii, vhodná na mokré čistenie a leptanie pri výrobe polovodičov.
2. Keramická trubica z karbidu kremíka
- Odolnosť voči vysokým teplotám: Môže dlhodobo pracovať vo vysokoteplotnom prostredí nad 1600 °C, vhodný pre vysokoteplotné procesy výroby polovodičov.
Vynikajúca odolnosť voči korózii: odolná voči kyselinám, zásadám a rôznym chemickým rozpúšťadlám, vhodná do náročných procesných prostredí.
- Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: odolávajú erózii častíc a mechanickému opotrebovaniu, predlžujú životnosť.
- Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti: rýchle vedenie tepla a rozmerová stabilita, čo znižuje deformácie alebo praskanie spôsobené tepelným namáhaním.
Parameter produktu：
Parameter keramickej misky z karbidu kremíka:
| (Hmotný majetok) | (Jednotka) | (sic) | |
| (obsah SiC) | (Hmotn.)% | >99 | |
| (Priemerná veľkosť zrna) | mikrón | 4-10 | |
| (Hustota) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Zdanlivá pórovitosť) | Vo1% | <0,5 | |
| (tvrdosť podľa Vickersa) | VN 0,5 | GPA | 28 |
| *() Pevnosť v ohybe* (tri body) | 20 °C | MPa | 450 |
| (Pevnosť v tlaku) | 20 °C | MPa | 3900 |
| (Modul pružnosti) | 20 °C | GPA | 420 |
| (Lomová húževnatosť) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Tepelná vodivosť) | 20 °C | W/(m*K) | 160 |
| (Rezistivita) | 20 °C | Ohm.cm | 106 – 108 |
(Koeficient tepelnej rozťažnosti) | a(RT**...80 °C) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maximálna prevádzková teplota) | °C | 1700 | |
Parameter keramickej trubice z karbidu kremíka:
| Položky | Index |
| α-SIC | 99 % min. |
| Zdanlivá pórovitosť | Maximálne 16 % |
| Objemová hustota | 2,7 g/cm3 min. |
| Pevnosť v ohybe pri vysokej teplote | 100 MPa min. |
| Koeficient tepelnej rozťažnosti | K-1 4,7x10 -6 |
| Súčiniteľ tepelnej vodivosti (1400 °C) | 24 W/mk |
| Maximálna pracovná teplota | 1650 °C |
Hlavné aplikácie:
1. Keramická doska z karbidu kremíka
- Rezanie a leštenie doštičiek: slúži ako nosná platforma na zabezpečenie vysokej presnosti a stability počas rezania a leštenia.
- Litografický proces: Doštička je upevnená v litografickom stroji, aby sa zabezpečilo vysoko presné polohovanie počas expozície.
- Chemicko-mechanické leštenie (CMP): slúži ako nosná platforma pre leštiace podložky a zabezpečuje rovnomerné rozloženie tlaku a tepla.
2. Keramická trubica z karbidu kremíka
- Rúrka pece pre vysoké teploty: používa sa pre zariadenia s vysokou teplotou, ako sú difúzne pece a oxidačné pece, na prepravu doštičiek pre vysokoteplotné procesné spracovanie.
- Proces CVD/PVD: Ako ložisková rúrka v reakčnej komore, odolná voči vysokým teplotám a korozívnym plynom.
- Príslušenstvo pre polovodičové zariadenia: pre výmenníky tepla, plynovody atď., na zlepšenie účinnosti tepelného manažmentu zariadení.
Spoločnosť XKH ponúka kompletný sortiment zákazkových služieb pre keramické misky, prísavky a keramické trubice z karbidu kremíka. Keramické misky a prísavky z karbidu kremíka od spoločnosti XKH je možné prispôsobiť podľa požiadaviek zákazníka v rôznych veľkostiach, tvaroch a drsnosti povrchu a podporovať špeciálnu úpravu povlakom, zvyšovať odolnosť proti opotrebovaniu a korózii. V prípade keramických trubíc z karbidu kremíka dokáže spoločnosť XKH prispôsobiť rôzne vnútorné priemery, vonkajšie priemery, dĺžky a zložité štruktúry (napríklad tvarované rúrky alebo pórovité rúrky) a zabezpečiť leštenie, antioxidačný povlak a ďalšie procesy povrchovej úpravy. Spoločnosť XKH zabezpečuje, aby zákazníci mohli plne využiť výhody keramických výrobkov z karbidu kremíka a splniť náročné požiadavky špičkových výrobných oblastí, ako sú polovodiče, LED diódy a fotovoltaika.
Podrobný diagram
