Vidlicové rameno/ruka z karbidu kremíka SiC Keramika pre kritické manipulačné systémy

Rameno/ruka z karbidu kremíka a SiC keramiky pre kritické manipulačné systémy (obrázok)

Stručný popis:

Ten/Tá/ToRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyje špičkový komponent vyvinutý pre pokročilú priemyselnú automatizáciu, spracovanie polovodičov a ultra čisté prostredia. Jeho výrazná vidlicová architektúra a ultra plochý keramický povrch ho robia ideálnym na manipuláciu s citlivými substrátmi vrátane kremíkových doštičiek, sklenených panelov a optických zariadení. Je presne navrhnutý a vyrobený z ultra čistého karbidu kremíka.Rameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyponúka bezkonkurenčnú mechanickú pevnosť, tepelnú spoľahlivosť a kontrolu kontaminácie.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Predstavenie keramickej vidlice/ruka z karbidu kremíka

Na rozdiel od bežných kovových alebo plastových ramien,Rameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyPoskytuje stabilný výkon v extrémnych tepelných, chemických a vákuových podmienkach. Či už pracuje v čistej miestnosti triedy 1 alebo vo vysokovákuovej plazmovej komore, tento komponent zaisťuje bezpečnú, efektívnu a bezzvyškovú prepravu cenných dielov.

Vďaka štruktúre prispôsobenej pre robotické ramená, manipulátory s doštičkami a automatizované prenosové nástrojeRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyje inteligentným vylepšením pre akýkoľvek vysoko presný systém.

Výrobný proces keramickej vidlice/ruka z karbidu kremíka

Vytvorenie vysokovýkonnéhoRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyzahŕňa prísne kontrolovaný pracovný postup keramického inžinierstva, ktorý zaisťuje opakovateľnosť, spoľahlivosť a ultranízku mieru chybovosti.

1. Materiálové inžinierstvo

Pri výrobe sa používa iba prášok karbidu kremíka s ultravysokou čistotouRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramiky, čím sa zabezpečuje nízka iónová kontaminácia a vysoká objemová pevnosť. Prášky sa presne zmiešajú so spekacími prísadami a spojivami, aby sa dosiahlo optimálne zhutnenie.

2. Tvorba základnej štruktúry

Základná geometriarameno/ruka vidlicesa formuje pomocou izostatického lisovania za studena alebo vstrekovania, čo zaisťuje vysokú hustotu v surovom stave a rovnomerné rozloženie napätia. Konfigurácia v tvare U je optimalizovaná z hľadiska pomeru tuhosti k hmotnosti a dynamickej odozvy.

3. Proces spekania

Zelené teloRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikysa speká vo vysokoteplotnej peci s inertným plynom pri teplote nad 2000 °C. Tento krok zaisťuje takmer teoretickú hustotu, čím sa vytvára súčiastka, ktorá odoláva praskaniu, deformácii a rozmerovým odchýlkam pri reálnom tepelnom zaťažení.

4. Presné brúsenie a obrábanie

Na tvarovanie konečných rozmerov sa používa pokročilé CNC diamantové nástrojeRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyPresné tolerancie (±0,01 mm) a zrkadlovo hladká povrchová úprava znižujú uvoľňovanie častíc a mechanické namáhanie.

5. Úprava a čistenie povrchov

Konečná povrchová úprava zahŕňa chemické leštenie a ultrazvukové čistenie na prípravu povrchurameno/ruka vidlicepre priamu integráciu do ultračistých systémov. K dispozícii sú aj voliteľné povrchové úpravy (CVD-SiC, antireflexné vrstvy).

Tento dôkladný proces zaručuje, že každýRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyspĺňa najprísnejšie priemyselné normy vrátane požiadaviek na čisté priestory SEMI a ISO.

Parametre ramena/ruky z karbidu kremíka a keramiky

Položka	Testovacie podmienky	Dáta	Jednotka
Obsah karbidu kremíka	/	>99,5	%
Priemerná veľkosť zrna	/	4-10	mikrón
Hustota	/	>3,14	g/cm3
Zdanlivá pórovitosť	/	<0,5	Obj. %
Tvrdosť podľa Vickersa	HV0,5	2800	kg/mm2
Modul pevnosti v ťahu (3 body)	Veľkosť testovacej tyče: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Pevnosť v tlaku	20 °C	3900	MPa
Modul pružnosti	20 °C	420	GPA
Lomová húževnatosť	/	3,5	MPa/m^1/2
Tepelná vodivosť	20 °C	160	W/(mK)
Elektrický odpor	20 °C	10⁶-10⁸	Ωcm
Koeficient tepelnej rozťažnosti	20 °C – 800 °C	4.3	K^-110^-6
Maximálna teplota aplikácie	Oxidová atmosféra	1600	°C
Maximálna teplota aplikácie	Inertná atmosféra	1950	°C

Aplikácie keramických vidlicových ramien/rukadí z karbidu kremíka

Ten/Tá/ToRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyje určený na použitie vo vysoko presných, vysoko rizikových a na kontamináciu citlivých aplikáciách. Umožňuje spoľahlivú manipuláciu, prenos alebo podporu kritických komponentov bez kompromisov.

➤ Polovodičový priemysel

Používa sa ako robotická vidlica v staniciach na prenos waferov na prednom konci a FOUP.
Integrované do vákuových komôr pre plazmové leptanie a PVD/CVD procesy.
Funguje ako nosné rameno v metrologických a nástrojoch na zarovnávanie doštičiek.

Ten/Tá/ToRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyEliminuje riziká elektrostatického výboja (ESD), podporuje rozmerovú presnosť a odoláva plazmovej korózii.

➤ Fotonika a optika

Podporuje citlivé šošovky, laserové kryštály a senzory počas výroby alebo kontroly.
Jeho vysoká tuhosť zabraňuje vibráciám, zatiaľ čo keramické telo odoláva kontaminácii optických povrchov.

➤ Výroba displejov a panelov

Manipuluje s tenkým sklom, OLED modulmi a LCD substrátmi počas prepravy alebo kontroly.
Plochý a chemicky inertnýRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikychráni pred poškriabaním alebo chemickým leptaním.

➤ Letectvo a kozmonautika a vedecké prístroje

Používa sa pri montáži satelitnej optiky, vákuovej robotike a nastaveniach synchrotrónových lúčových línií.
Bezchybne funguje v čistých priestoroch kozmickej triedy a prostrediach náchylných na žiarenie.

V každej oblasti,Rameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyzvyšuje efektivitu systému, znižuje poruchovosť dielov a minimalizuje prestoje.

Často kladené otázky – Často kladené otázky o ramene/ruke vidlice z karbidu kremíka

Otázka 1: Čo robí rameno/ruku vidlice z karbidu kremíka keramickou lepšou ako kovové alternatívy?

Ten/Tá/ToRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikymá vynikajúcu tvrdosť, nižšiu hustotu, lepšiu chemickú odolnosť a výrazne menšiu tepelnú rozťažnosť ako kovy. Je tiež kompatibilný s čistými priestormi a nepodlieha korózii ani tvorbe častíc.

Otázka 2: Môžem si vyžiadať vlastné rozmery pre moju vidlicovú rukoväť z karbidu kremíka a keramiky?

Áno. Ponúkame kompletné prispôsobenie vrátane šírky vidlice, hrúbky, montážnych otvorov, výrezov a povrchových úprav. Či už ide o 6", 8" alebo 12" wafery, vašerameno/ruka vidlicedá sa prispôsobiť na mieru.

Otázka 3: Ako dlho vydrží rameno/ruka vidlice z karbidu kremíka v plazme alebo vákuu?

Vďaka materiálu SiC s vysokou hustotou a inertnej povahe,rameno/ruka vidliceZostáva funkčný aj po tisíckach procesných cyklov. Vykazuje minimálne opotrebenie pri agresívnom tepelnom zaťažení plazmou alebo vákuom.

Otázka 4: Je produkt vhodný pre čisté priestory triedy ISO 1?

Rozhodne.Rameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikysa vyrába a balí v certifikovaných čistých priestoroch s úrovňou častíc výrazne pod požiadavkami triedy ISO 1.

Otázka 5: Aká je maximálna prevádzková teplota pre toto rameno/ruku vidlice?

Ten/Tá/ToRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramikyMôže pracovať nepretržite pri teplote až 1500 °C, vďaka čomu je vhodný na priame použitie vo vysokoteplotných procesných komorách a tepelných vákuových systémoch.

Tieto najčastejšie otázky odrážajú najčastejšie technické otázky inžinierov, vedúcich laboratórií a systémových integrátorov používajúcichRameno/ruka vidlice z karbidu kremíka a keramiky.

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným podnikom v oblasti high-tech optoelektronických materiálov.