Ultra presný stolík s ložiskami SiC s vzduchom

Obrázok ultra presného stolíka s ložiskami SiC s vzduchom

Stručný popis:

S neustálym vývojom polovodičového priemyslu vyžadujú spracovateľské a kontrolné zariadenia stále vyšší výkon. Na základe rozsiahlych skúseností v oblasti riadenia pohybu a polohovania na nanometrovej úrovni sme vyvinuli planárny dvojosový ultrapresný stolík typu H s vzduchovými ložiskami.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Podrobný diagram

Prehľad

Vďaka keramickej štruktúre z karbidu kremíka (SiC) optimalizovanej metódou konečných prvkov a technológii kompenzovaných vzduchových ložísk poskytuje stolík vynikajúcu presnosť, tuhosť a dynamickú odozvu. Je ideálny pre:

Spracovanie a kontrola polovodičov
Mikro/nano výroba a metrológia
Rezanie a leštenie v nanometrovom meradle
Vysokorýchlostné presné skenovanie

Kľúčové vlastnosti

Vedenie s ložiskami SiC so vzduchompre ultra vysokú tuhosť a presnosť
Vysoká dynamika: rýchlosť do 1 m/s, zrýchlenie do 4 g, rýchle usadzovanie
Dvojpohonný portálový portál s osou Yzaisťuje vysokú nosnosť a stabilitu
Možnosti enkodéraoptická mriežka alebo laserový interferometer
Presnosť polohovania±0,15 μm;opakovateľnosť±75 nm
Optimalizované vedenie káblovpre čistý dizajn a dlhodobú spoľahlivosť
Prispôsobiteľné konfiguráciepre špecifické potreby aplikácie

Ultra presný dizajn a bezkontaktná architektúra s priamym pohonom

Keramický rám SiC: ~5× tuhosť hliníkovej zliatiny a ~5× nižšia tepelná rozťažnosť, čo zaisťuje stabilitu pri vysokých rýchlostiach a tepelnú odolnosť.
Kompenzované vzduchové ložiskoVlastný dizajn zvyšuje tuhosť, nosnosť a stabilitu pohybu.
Dynamický výkonPodporuje rýchlosť 1 m/s a zrýchlenie 4 g, ideálne pre vysokokapacitné procesy.
Bezproblémová integráciaKompatibilné so systémami na izoláciu vibrácií, rotačnými stolíkmi, naklápacími modulmi a platformami na manipuláciu s doštičkami.
Správa káblovKontrolovaný polomer ohybu minimalizuje namáhanie a tým predlžuje životnosť.

Bezjadrový lineárny motorPlynulý pohyb s nulovou silou ozubenia.
Viacmotorový pohonUmiestnenie motora v rovine zaťaženia zlepšuje priamosť, rovinnosť a uhlovú presnosť.
Tepelná izoláciaMotory sú izolované od konštrukcie javiska; voliteľné vzduchové alebo vodné chladenie pre cykly s vysokým zaťažením.

Špecifikácie

Model	400 – 400	500 – 500	600 – 600
Sekery	X (sken) / Y (krok)	X (sken) / Y (krok)	X (sken) / Y (krok)
Zdvih (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Presnosť (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Opakovateľnosť (nm)	±75	±100	±100
Rozlíšenie (nm)	0,3	0,3	0,3
Maximálna rýchlosť (m/s)	1	1	1
Zrýchlenie (g)	4	4	4
Priamosť (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilita (nm)	±5	±5	±5
Maximálne zaťaženie (kg)	20	20	20
Náklon/Klopenie/Stáčanie (uhlová sekunda)	±1	±1	±1

Testovacie podmienky:

Prívod vzduchu: čistý, suchý; rosný bod ≤ 0 °F; filtrácia častíc ≤ 0,25 μm; alebo 99,99 % dusíka.
Presnosť meraná 25 mm nad stredom stolíka pri teplote 20 ± 1 °C, relatívnej vlhkosti 40 – 60 %.

Aplikácie

Polovodičová litografia, kontrola a manipulácia s doštičkami
Mikro/nano výroba a presná metrológia
Výroba špičkovej optiky a interferometria
Letectvo a kozmonautika a pokročilý vedecký výskum

Často kladené otázky – Vzduchový stolík z karbidu kremíka

1. Čo je to vzduchový stupeň?

Plošina so vzduchovými ložiskami využíva tenkú vrstvu stlačeného vzduchu medzi plošinou a vodiacou dráhou na zabezpečeniebez trenia, opotrebovania a ultra plynulý pohybNa rozdiel od konvenčných mechanických ložísk eliminuje trhavý kĺzavý efekt, poskytuje presnosť na úrovni nanometrov a podporuje dlhodobú spoľahlivosť.

2. Prečo použiť karbid kremíka (SiC) pre konštrukciu javiska?

Vysoká tuhosť: ~5× väčšia ako u hliníkovej zliatiny, čím sa minimalizuje deformácia počas dynamického pohybu.
Nízka tepelná rozťažnosť: ~5× nižšia ako hliník, pričom sa zachováva presnosť aj pri teplotných zmenách.
ĽahkáNižšia hustota v porovnaní s oceľou, čo umožňuje prevádzku pri vysokých rýchlostiach a vysokých zrýchleniach.
Vynikajúca stabilitaVynikajúce tlmenie a tuhosť pre ultra presné polohovanie.

3. Vyžaduje si pódium mazanie alebo údržbu?

Nie je potrebné žiadne tradičné mazanie, pretože existuježiadny mechanický kontaktOdporúčaná údržba zahŕňa:

Dodávaniečistý, suchý stlačený vzduch alebo dusík
Pravidelná kontrola filtrov a sušičiek
Monitorovacie káble a chladiace systémy

4. Aké sú požiadavky na prívod vzduchu?

Rosný bod: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrácia častíc: ≤ 0,25 μm
Čistý, suchý vzduch alebo 99,99 % čistý dusík
Stabilný tlak s minimálnym kolísaním

O nás

Spoločnosť XKH sa špecializuje na vývoj, výrobu a predaj high-tech technológií v oblasti špeciálneho optického skla a nových kryštálových materiálov. Naše produkty slúžia optickej elektronike, spotrebnej elektronike a armáde. Ponúkame zafírové optické komponenty, kryty šošoviek mobilných telefónov, keramiku, LT, karbid kremíka SIC, kremeň a polovodičové kryštálové doštičky. Vďaka odborným znalostiam a najmodernejšiemu vybaveniu vynikáme v spracovaní neštandardných produktov s cieľom stať sa popredným podnikom v oblasti high-tech optoelektronických materiálov.