156 mm 159 mm 6-palcový zafírový plátok pre nosič C-Plane DSP TTV
Špecifikácia
| Položka | 6-palcové zafírové doštičky v rovine C (0001) | |
| Kryštálové materiály | 99,999 %, vysoká čistota, monokryštalický Al2O3 | |
| Stupeň | Prime, pripravený na epidemiológiu | |
| Orientácia povrchu | C-rovina (0001) | |
| Uhol odklonu roviny C voči osi M 0,2 +/- 0,1° | ||
| Priemer | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Hrúbka | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primárna orientácia bytu | Rovina C (00-01) +/- 0,2° | |
| Leštené z jednej strany | Predná plocha | Epi-leštené, Ra < 0,2 nm (pomocou AFM) |
| (SSP) | Zadný povrch | Jemne brúsené, Ra = 0,8 μm až 1,2 μm |
| Obojstranne leštené | Predná plocha | Epi-leštené, Ra < 0,2 nm (pomocou AFM) |
| (DSP) | Zadný povrch | Epi-leštené, Ra < 0,2 nm (pomocou AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| LUK | < 20 μm | |
| DEFORMÁCIA | < 20 μm | |
| Čistenie / Balenie | Čistenie čistých priestorov triedy 100 a vákuové balenie, | |
| 25 kusov v jednom kazetovom balení alebo v balení po jednom kuse. | ||
Kylopoulosova metóda (KY metóda) v súčasnosti používa mnoho spoločností v Číne na výrobu zafírových kryštálov pre použitie v elektronickom a optickom priemysle.
V tomto procese sa vysoko čistý oxid hlinitý taví v tégliku pri teplotách nad 2100 stupňov Celzia. Téglik je zvyčajne vyrobený z volfrámu alebo molybdénu. Presne orientovaný zárodočný kryštál sa ponorí do roztaveného oxidu hlinitého. Zárodočný kryštál sa pomaly ťahá nahor a môže sa súčasne otáčať. Presnou reguláciou teplotného gradientu, rýchlosti ťahania a rýchlosti chladenia je možné z taveniny vyrobiť veľký, monokryštálový, takmer valcovitý ingot.
Po vypestovaní monokryštálových zafírových ingotov sa z nich vyvŕtajú valcové tyče, ktoré sa potom narežú na požadovanú hrúbku okienka a nakoniec sa vyleštia na požadovaný povrch.
Podrobný diagram
