6-palcové 150 mm doštičky SiC z karbidu kremíka typu 4H-N pre výskum výroby MOS alebo SBD a triedu fiktívnych
Aplikačné polia
6-palcový monokryštálový substrát z karbidu kremíka hrá kľúčovú úlohu vo viacerých priemyselných odvetviach. Po prvé, je široko používaný v polovodičovom priemysle na výrobu vysokovýkonných elektronických zariadení, ako sú výkonové tranzistory, integrované obvody a výkonové moduly. Jeho vysoká tepelná vodivosť a odolnosť voči vysokým teplotám umožňujú lepší odvod tepla, čo vedie k vyššej účinnosti a spoľahlivosti. Po druhé, doštičky z karbidu kremíka sú nevyhnutné vo výskumných oblastiach pre vývoj nových materiálov a zariadení. Okrem toho doštička z karbidu kremíka nachádza rozsiahle uplatnenie v oblasti optoelektroniky, vrátane výroby LED a laserových diód.
Špecifikácie produktu
6-palcový monokryštálový substrát karbidu kremíka má priemer 6 palcov (približne 152,4 mm). Drsnosť povrchu je Ra < 0,5 nm a hrúbka je 600 ± 25 μm. Substrát môže byť prispôsobený vodivosti typu N alebo typu P na základe požiadaviek zákazníka. Okrem toho vykazuje výnimočnú mechanickú stabilitu, ktorá je schopná odolať tlaku a vibráciám.
Priemer | 150 ± 2,0 mm (6 palcov) | ||||
Hrúbka | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientácia | Na osi: <0001>±0,5° | Mimo osi: 4,0° smerom k 1120±0,5° | |||
Polytyp | 4H | ||||
Odpor (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primárna orientácia bytu | {10-10}±5,0° | ||||
Primárna plochá dĺžka (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Edge | Skosenie | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤ 15 / ≤ 40 / ≤ 60 | ||||
AFM predná (Si-face) | poľský Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra < 0,5 nm | |||||
LTV | ≤ 3 μm (10 mm x 10 mm) | ≤ 5 μm (10 mm x 10 mm) | ≤ 10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤ 5 μm | ≤ 10 μm | ≤ 15 μm | ||
Pomarančová kôra/jamky/praskliny/kontaminácia/škvrny/ryhy | žiadne | žiadne | žiadne | ||
zarážky | žiadne | žiadne | žiadne |
6-palcový monokryštálový substrát z karbidu kremíka je vysoko výkonný materiál široko používaný v polovodičovom, výskumnom a optoelektronickom priemysle. Ponúka vynikajúcu tepelnú vodivosť, mechanickú stabilitu a odolnosť voči vysokým teplotám, vďaka čomu je vhodný na výrobu vysokovýkonných elektronických zariadení a výskum nových materiálov. Ponúkame rôzne špecifikácie a možnosti prispôsobenia, aby sme splnili rôzne požiadavky zákazníkov.Kontaktujte nás pre viac podrobností o doštičkách z karbidu kremíka!