6-palcové 150 mm doštičky z karbidu kremíka SiC typu 4H-N pre výskum výroby MOS alebo SBD a pre fiktívnu kvalitu
Oblasti použitia
6-palcový substrát z karbidu kremíka zohráva kľúčovú úlohu vo viacerých odvetviach. Po prvé, je široko používaný v polovodičovom priemysle na výrobu vysokovýkonných elektronických zariadení, ako sú výkonové tranzistory, integrované obvody a výkonové moduly. Jeho vysoká tepelná vodivosť a odolnosť voči vysokým teplotám umožňujú lepší odvod tepla, čo vedie k zlepšeniu účinnosti a spoľahlivosti. Po druhé, doštičky z karbidu kremíka sú nevyhnutné vo výskumných oblastiach pre vývoj nových materiálov a zariadení. Okrem toho, doštičky z karbidu kremíka nachádzajú rozsiahle uplatnenie v oblasti optoelektroniky, vrátane výroby LED diód a laserových diód.
Špecifikácie produktu
6-palcový substrát z monokryštálového karbidu kremíka má priemer 6 palcov (približne 152,4 mm). Drsnosť povrchu je Ra < 0,5 nm a hrúbka je 600 ± 25 μm. Substrát je možné prispôsobiť s vodivosťou typu N alebo typu P podľa požiadaviek zákazníka. Okrem toho vykazuje výnimočnú mechanickú stabilitu, ktorá je schopná odolávať tlaku a vibráciám.
| Priemer | 150 ± 2,0 mm (6 palcov) | ||||
| Hrúbka | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientácia | Na osi ： <0001>±0,5° | Mimo osi: 4,0° smerom k 1120±0,5° | |||
| Polytyp | 4H | ||||
| Merný odpor (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Primárna rovinná orientácia | {10-10}±5,0° | ||||
| Dĺžka primárnej plochej časti (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Okraj | Zkosenie | ||||
| TTV/Lúk/Osnova (um) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
| AFM predná strana (Si-face) | Poľský Ra ≤ 1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Celková životnosť (LTV) | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Pomarančová kôra/kôstky/praskliny/znečistenie/škvrny/ryhy | Žiadne | Žiadne | Žiadne | ||
| odsadenia | Žiadne | Žiadne | Žiadne | ||
6-palcový substrát z karbidu kremíka ako monokryštálu je vysokovýkonný materiál široko používaný v polovodičovom, výskumnom a optoelektronickom priemysle. Ponúka vynikajúcu tepelnú vodivosť, mechanickú stabilitu a odolnosť voči vysokým teplotám, vďaka čomu je vhodný na výrobu vysokovýkonných elektronických zariadení a výskum nových materiálov. Ponúkame rôzne špecifikácie a možnosti prispôsobenia, aby sme splnili rozmanité požiadavky zákazníkov.Kontaktujte nás pre viac informácií o doštičkách z karbidu kremíka!
Podrobný diagram
