SSP/DSP s hrúbkou zafírového plátku v rovine C s priemerom 300 x 1,0 mm
Predstavenie oblátkovej krabice
Kryštálové materiály | 99,999 % Al2O3, vysoká čistota, monokryštalický, Al2O3 | |||
Krištáľová kvalita | Inklúzie, blokové značky, dvojčatá, farba, mikrobubliny a disperzné centrá neexistujú | |||
Priemer | 2 palce | 3 palce | 4 palce | 6 palcov ~ 12 palcov |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100±0,3 mm | V súlade s ustanoveniami štandardnej výroby | |
Hrúbka | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Môže byť prispôsobené zákazníkom |
Orientácia | Rovina C (0001) až rovina M (1-100) alebo rovina A (11-20) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, rovina R (1-102), rovina A (11-20), rovina M (1-100), ľubovoľná orientácia, ľubovoľný uhol | |||
Primárna dĺžka plochého | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | V súlade s ustanoveniami štandardnej výroby |
Primárna orientácia bytu | Rovina A (11-20) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Celková životnosť (LTV) | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
LUK | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Osnova | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Predná plocha | Epi-leštené (Ra < 0,2 nm) |
*Ohyb: Odchýlka stredového bodu stredového povrchu voľného, neupevneného plátku od referenčnej roviny, kde referenčná rovina je definovaná tromi vrcholmi rovnostranného trojuholníka.
*Deformácia: Rozdiel medzi maximálnou a minimálnou vzdialenosťou stredného povrchu voľného, neupevneného waferu od referenčnej roviny definovanej vyššie.
Vysokokvalitné produkty a služby pre polovodičové súčiastky novej generácie a epitaxný rast:
Vysoký stupeň rovinnosti (kontrolované TTV, oblúk, osnova atď.)
Vysokokvalitné čistenie (nízka kontaminácia časticami, nízka kontaminácia kovmi)
Vŕtanie, drážkovanie, rezanie a leštenie zadnej strany substrátu
Priloženie údajov, ako je čistota a tvar substrátu (voliteľné)
Ak potrebujete zafírové substráty, neváhajte nás kontaktovať:
pošta:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Čo najskôr sa vám ozveme!
Podrobný diagram

