Diamantový drôtový rezací stroj na karbid kremíka, spracovanie ingotov SiC 4/6/8/12 palcov

Stručný popis:

Rezací stroj na diamantový drôt z karbidu kremíka je druh vysoko presného spracovateľského zariadenia určeného na rezanie ingotov z karbidu kremíka (SiC). Používa technológiu diamantovej drôtovej píly a následne sa vysokorýchlostným diamantovým drôtom (priemer drôtu 0,1 až 0,3 mm) režú viacdrôtovým drôtom SiC ingotov, čím sa dosahuje vysoko presná príprava doštičiek s nízkym poškodením. Toto zariadenie sa široko používa pri spracovaní substrátov výkonových polovodičov SiC (MOSFET/SBD), rádiofrekvenčných zariadení (GaN-on-SiC) a optoelektronických zariadení a je kľúčovým zariadením v priemyselnom reťazci SiC.

Pošlite nám e-mail

Funkcie

Princíp fungovania:

1. Upevnenie ingotu: Ingot SiC (4H/6H-SiC) je upevnený na rezacej plošine pomocou upínacieho prípravku, aby sa zabezpečila presnosť polohy (±0,02 mm).

2. Pohyb diamantovej frézy: diamantová fréza (galvanicky pokovované diamantové častice na povrchu) je poháňaná systémom vodiacich koliesok pre vysokorýchlostnú cirkuláciu (rýchlosť frézy 10~30m/s).

3. Rezací posuv: ingot sa posúva pozdĺž nastaveného smeru a diamantová čiara sa reže súčasne s viacerými rovnobežnými čiarami (100 ~ 500 čiar), čím sa vytvorí viacero doštičiek.

4. Chladenie a odvádzanie triesok: Nastriekajte chladiacu kvapalinu (deionizovaná voda + prísady) do oblasti rezu, aby ste znížili poškodenie teplom a odstránili triesky.

Kľúčové parametre:

1. Rýchlosť rezania: 0,2 ~ 1,0 mm/min (v závislosti od smeru kryštálu a hrúbky SiC).

2. Napnutie struny: 20~50N (príliš vysoké napnutie struny ľahko pretrhne, príliš nízke ovplyvňuje presnosť rezania).

3. Hrúbka doštičky: štandardná 350 ~ 500 μm, doštička môže dosiahnuť 100 μm.

Hlavné vlastnosti:

(1) Presnosť rezania
Tolerancia hrúbky: ±5 μm (@350 μm doštička), lepšia ako pri bežnom rezaní maltou (±20 μm).

Drsnosť povrchu: Ra <0,5 μm (nie je potrebné žiadne dodatočné brúsenie na zníženie množstva následného spracovania).

Deformácia: <10μm (zníženie náročnosti následného leštenia).

(2) Efektivita spracovania
Viacriadkové rezanie: rezanie 100 až 500 kusov naraz, čím sa výrobná kapacita zvyšuje 3 až 5-krát (oproti jednoriadkovému rezaniu).

Životnosť linky: Diamantová linka dokáže narezať 100 až 300 km SiC (v závislosti od tvrdosti ingotu a optimalizácie procesu).

(3) Spracovanie s nízkym poškodením
Zlomenie hrany: <15μm (tradičné rezanie >50μm), zlepšuje výťažnosť doštičky.

Podpovrchová vrstva poškodenia: <5 μm (zníženie odstraňovania leštením).

(4) Ochrana životného prostredia a hospodárstvo
Žiadna kontaminácia malty: Znížené náklady na likvidáciu odpadovej kvapaliny v porovnaní s rezaním malty.

Využitie materiálu: Strata pri rezaní <100μm/fréza, úspora surovín SiC.

Rezný účinok:

1. Kvalita doštičky: žiadne makroskopické trhliny na povrchu, málo mikroskopických defektov (kontrolovateľné predĺženie dislokácie). Možnosť priameho vstupu do spoja pre hrubé leštenie, skrátenie procesu.

2. Konzistencia: odchýlka hrúbky doštičky v dávke je <±3%, vhodná pre automatizovanú výrobu.

3. Použiteľnosť: Podpora rezania ingotov 4H/6H-SiC, kompatibilná s vodivým/poloizolovaným typom.

Technická špecifikácia：

Špecifikácia	Detaily
Rozmery (D × Š × V)	2500x2300x2500 alebo prispôsobiť
Rozsah veľkostí spracovateľského materiálu	4, 6, 8, 10, 12 palcov karbidu kremíka
Drsnosť povrchu	Ra≤0,3u
Priemerná rýchlosť rezania	0,3 mm/min
Hmotnosť	5,5 t
Kroky nastavenia procesu rezania	≤30 krokov
Hluk zariadenia	≤80 dB
Napätie oceľového drôtu	0~110N (napätie drôtu 0,25 je 45N)
Rýchlosť oceľového drôtu	0~30 m/s
Celkový výkon	50 kW
Priemer diamantového lana	≥0,18 mm
Koncová rovinnosť	≤0,05 mm
Rýchlosť rezania a lámania	≤1 % (okrem ľudských dôvodov, silikónového materiálu, vedenia, údržby a iných dôvodov)

Služby XKH:

Spoločnosť XKH poskytuje kompletný procesný servis diamantového drôtového rezacieho stroja na karbid kremíka vrátane výberu zariadenia (prispôsobenie priemeru drôtu/rýchlosti drôtu), vývoja procesu (optimalizácia parametrov rezania), dodávky spotrebného materiálu (diamantový drôt, vodiace koleso) a popredajnej podpory (údržba zariadenia, analýza kvality rezania), aby pomohla zákazníkom dosiahnuť vysoký výťažok (> 95 %), nízkonákladovú hromadnú výrobu SiC doštičiek. Ponúka tiež prispôsobené vylepšenia (ako napríklad ultratenké rezanie, automatizované nakladanie a vykladanie) s dodacou lehotou 4 až 8 týždňov.